本實用新型涉及一種加入光學檢查功能的聚焦離子束機臺,其包含有腔體,安裝于所述腔體內(nèi)頂部的離子源,安裝于所述腔體內(nèi)側(cè)壁的電子偵測器,光學攝像頭以及樣品座;所述離子源發(fā)射離子束至放置于樣品座上的樣品表面,所述電子偵測器接收樣品表面受到離子束轟擊而激發(fā)出的電子成像,所述光學攝像頭安裝于腔體的內(nèi)側(cè)壁電子偵測器旁,拍攝所述樣品的光學成像;本實用新型可以減少定位加速工程時間,同時可配合光學與電子顯微檢查來達到查找失效點的目的。
聲明:
“加入光學檢查功能的聚焦離子束機臺” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)