本發(fā)明實(shí)施例提供一種機(jī)臺(tái)插槽的異常偵測(cè)方法、修復(fù)方法和異常偵測(cè)系統(tǒng)。機(jī)臺(tái)包括多個(gè)插槽，插槽用于檢測(cè)芯片，異常偵測(cè)方法包括：獲取第一失效率，第一失效率為過(guò)去的第一時(shí)間段內(nèi)每一插槽檢測(cè)的芯片的失效率；根據(jù)所有第一失效率，計(jì)算異常值；獲取第二失效率，第二失效率為過(guò)去的第二時(shí)間段內(nèi)的每一插槽檢測(cè)的芯片的失效率；第二時(shí)間段小于第一時(shí)間段，且第二時(shí)間段在第一時(shí)間段內(nèi)；將第二失效率大于或等于異常值的插槽標(biāo)記為目標(biāo)插槽，將第二失效率小于異常值的插槽標(biāo)記為對(duì)照插槽；檢驗(yàn)第二時(shí)間段內(nèi)每一天的目標(biāo)插槽與對(duì)照插槽的失效率的差異的顯著性程度。本發(fā)明實(shí)施例能夠減小在偵測(cè)異常插槽時(shí)出現(xiàn)的誤差。