本實(shí)用新型是以Si-MOS型Al2O3濕度傳感器 為測(cè)濕元件的濕度測(cè)量?jī)x。它采用α相Al2O3作為 MOS結(jié)構(gòu)的氧化層并以正交分量法電容測(cè)量?jī)x作為 二次儀表,可重復(fù)穩(wěn)定地測(cè)量-80℃~+10℃露點(diǎn) 范圍的絕對(duì)濕度和0—100%的相對(duì)濕度。儀器讀數(shù) 穩(wěn)定,不發(fā)生長(zhǎng)期漂移,可用于工業(yè)過程的濕度監(jiān) 控,環(huán)境濕度的檢測(cè)與控制,超純氣體中含水量的分 析測(cè)量,氣密封裝電子器件中濕度的檢測(cè)及器件可 靠性和失效機(jī)理的研究等領(lǐng)域。
聲明:
“濕度測(cè)量?jī)x” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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