本發(fā)明涉及ESD設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,更具體地說,它涉及一種ESD設(shè)備運行狀況監(jiān)測裝置及其監(jiān)測方法,其技術(shù)方案要點是:一種ESD設(shè)備運行狀況監(jiān)測裝置,其包括檢測單元;所述檢測單元用于根據(jù)ESD設(shè)備的電容器充放電過程中的電壓,采用預(yù)設(shè)的判定規(guī)則判定ESD設(shè)備的運行是否正常。根據(jù)本發(fā)明提供的技術(shù)方案,由于檢測單元可以根據(jù)ESD設(shè)備的電容器充放電過程中的電壓,采用預(yù)設(shè)的判定規(guī)則判定ESD設(shè)備的運行是否正常,從而作業(yè)人員在ESD設(shè)備工作時可以隨時了解ESD設(shè)備的運行狀況,當ESD設(shè)備運行不正常時,可以及時對ESD設(shè)備進行維修或更換,可有效防止ESD設(shè)備靜電防護失效的情況發(fā)生。
聲明:
“ESD設(shè)備運行狀況監(jiān)測裝置及其監(jiān)測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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