本發(fā)明涉及一種納米探針及納米探針測(cè)試儀,包括針臂,所述針臂的一端用于連接測(cè)試儀,另一端設(shè)置有用于同時(shí)與待失效分析半導(dǎo)體器件同一極性兩個(gè)以上鎢栓接觸的觸頭。在待失效分析半導(dǎo)體器件電學(xué)特性測(cè)試中,此納米探針可同時(shí)接觸待失效分析半導(dǎo)體器件同一極性多個(gè)鎢栓,用多個(gè)鎢栓共同對(duì)應(yīng)的電學(xué)特性表征待失效分析半導(dǎo)體器件的實(shí)際電學(xué)特性,能夠有效避免個(gè)別納米探針觸頭與鎢栓接觸不良,或個(gè)別鎢栓下沒(méi)有硅化物等因素導(dǎo)致的測(cè)試誤差,從而更精準(zhǔn)的反映待失效分析半導(dǎo)體器件的實(shí)際電學(xué)特性。
聲明:
“納米探針及納米探針測(cè)試儀” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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