本發(fā)明提供了一種用于確認(rèn)互連線接觸高阻的測試方法,包括以下步驟:S1、在一失效樣品對應(yīng)的版圖上獲取待分析路徑,所述失效樣品已研磨至當(dāng)層;S2、在所述失效樣品的目標(biāo)區(qū)域上鍍上一層保護(hù)層;S3、在所述失效樣品上形成兩個測試通道,兩個測試通道分別由所述保護(hù)層向下延伸至所述待分析路徑的兩個測試端口處;S4、采用兩針法進(jìn)行納米探針測試,將納米探針伸入所述測試通道并與對應(yīng)的所述測試端口接觸,以確定失效樣品的互連線接觸高阻位置。通過特殊的樣品處理方法以及納米探針設(shè)備的測試特點(diǎn),能夠直接對失效路徑上進(jìn)行測量,從而在懷疑有高阻的互連線上尋找失效位置,找出樣品的失效原因,從而推動工藝的改善。
聲明:
“用于確認(rèn)互連線接觸高阻的測試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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