本發(fā)明提供一種測試結(jié)構(gòu)及其制作方法,該方法包括以下步驟:1)提供一待測試樣品,所述待測試樣品表面形成有分立設(shè)置的至少一個第一金屬墊;所述第一金屬墊下方形成有電路結(jié)構(gòu);2)在所述待測試樣品表面的空閑區(qū)域形成分立設(shè)置的至少一個與所述第一金屬墊連接的金屬墊組件,得到測試結(jié)構(gòu)。本發(fā)明在測試樣品中原始金屬墊的基礎(chǔ)上形成額外的金屬墊組件,其中金屬墊組件形成于測試樣品的空閑區(qū)域,不會影響測試樣品;在失效分析階段可以利用金屬墊組件進(jìn)行引線鍵合接入電信號,避免了重復(fù)鍵合引起器件破壞或引起第一金屬墊下方的器件開裂,有利于提高失效分析效率;并且既可以采用金線鍵合,也可以采用鋁線鍵合來降低成本。
聲明:
“測試結(jié)構(gòu)及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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