本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N電遷移測試結(jié)構(gòu)、半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及三維存儲(chǔ)器。其中,電遷移測試結(jié)構(gòu)包括測試線和襯底。測試線連接有陽極引線和陰極引線;襯底與陰極引線連接,襯底配置為通過陰極引線接收測試線中的靜電荷。本申請(qǐng)通過將陰極引線接入襯底,從而使襯底能夠通過陰極引線接收測試線中的靜電荷,因此,在測試過程中以及在后續(xù)失效分析過程中即使引入了靜電,這部分靜電也可通過陰極引線導(dǎo)出至襯底中,以此減小測試和失效分析過程中測試線發(fā)生爆燃的可能性。
聲明:
“電遷移測試結(jié)構(gòu)、半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及三維存儲(chǔ)器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)