本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N測(cè)試半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)擊穿的設(shè)備、系統(tǒng)和方法，該設(shè)備包括：第一支路和第二支路，第一支路的阻抗大于第二支路的阻抗，第一支路的第一端用于連接半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的第二端，第一支路的第二端接地，第二支路的第一端用于連接電壓源，第二支路的第二端接地，測(cè)試半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的擊穿時(shí)，半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的第一端連接電壓源，第二支路斷開(kāi)，第一支路導(dǎo)通以使半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)被電壓源擊穿進(jìn)行擊穿測(cè)試，半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)被擊穿后，第二支路導(dǎo)通，第一支路斷開(kāi)。從而可以在半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)被擊穿后，減輕對(duì)擊穿后的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的進(jìn)一步損傷，方便研究人員后期對(duì)擊穿失效位置的第一現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行物理失效分析。