一種ESD通路探測方法及系統(tǒng),所述方法包括:當待測試
芯片泄放ESD電流時,對所述待測試芯片因泄放ESD電流產(chǎn)生的光子進行探測;基于探測得到的光子的位置信息,獲得ESD通路影像;基于所述ESD通路影像,確定所述待測試芯片中對應(yīng)的ESD通路是否正常。上述的方案,可以對待測試芯片中ESD通路進行定位,滿足對待測試芯片ESD通路失效原因的分析需求。
聲明:
“ESD通路探測方法及系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)