本發(fā)明提供一種精確定位微電子器件電遷移測試中空洞位置的方法,將聚焦離子束機臺切割以及納米探針接地的作用應(yīng)用到微電子器件電遷移測試中空洞位置的無損定位中,大大提高電遷移空洞定位的精確度,進而提高了電遷移失效分析的成功率及效率。
聲明:
“精確定位電遷移測試中空洞位置的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)