本實(shí)用新型公開了進(jìn)氣測溫裝置,屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。它包括純化罐本體,所述純化罐本體的底部連通有進(jìn)氣管,所述純化罐本體側(cè)壁上設(shè)有測溫管。本實(shí)用新型當(dāng)源氣通過進(jìn)氣管進(jìn)入純化罐本體內(nèi)部,經(jīng)過純化罐本體純化后,從出氣口排出,當(dāng)源氣指標(biāo)偏高時(shí),首先帶來純化罐本體與進(jìn)氣管的連通處中心溫度升高,此時(shí)將測溫管伸入純化罐本體與進(jìn)氣管相連通的連通處中心位置,再在測量管內(nèi)插入熱電偶本體,并且時(shí)熱電偶本體測量端位于純化罐本體與進(jìn)氣管的連通處中心,再利用熱電偶本體對純化罐本體與進(jìn)氣管的連通處中心進(jìn)行溫度的測量,當(dāng)純化罐本體與進(jìn)氣管的連通處溫度升高時(shí),可快速檢測到溫度變化,再采取一些安全措施,避免造成整個(gè)純化器失效。
聲明:
“進(jìn)氣測溫裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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