本發(fā)明屬于壓電涂層材料技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種螺栓預(yù)緊力測(cè)試用帶壓電傳感器智能墊片及其制備方法,包括墊片及依次設(shè)置于墊片表面的墊片加硬層、ZnO壓電功能復(fù)合層、耐磨導(dǎo)電電極層構(gòu)成;其中墊片加硬層為CrN陶瓷涂層,ZnO壓電功能復(fù)合層由誘導(dǎo)結(jié)晶層、ZnO壓電層及保護(hù)層構(gòu)成,耐磨導(dǎo)電電極層為Cr/CrN多層膜構(gòu)成。本發(fā)明首次將傳感器制備于墊片表面,實(shí)現(xiàn)在墊片上實(shí)現(xiàn)超聲檢測(cè);傳感器采用多層結(jié)構(gòu),功能上實(shí)現(xiàn)使涂層具有比常規(guī)壓電涂層更好的硬度、耐磨和韌性;具有抗腐蝕、高耐磨和高韌性的特點(diǎn),可以保證傳感器長(zhǎng)期穩(wěn)定的在墊片表面工作,減少腐蝕等導(dǎo)致的失效可能性。
聲明:
“螺栓預(yù)緊力測(cè)試用帶壓電傳感器智能墊片及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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