一種加速熱載流子注入測試方法,包括以下步驟:a分別測量不同溫度下的在不同偏置電壓下漏極電流、襯底電流相對時間的曲線;b設(shè)定失效條件,將達(dá)到該失效條件的時間稱為失效時間;c將失效時間與漏極飽和電流之積和襯底電流與漏極飽和電流之商在坐標(biāo)上繪出得出它們相互之間的關(guān)系式;d.將失效時間與溫度在坐標(biāo)上繪出得出它們之間相互關(guān)系;e.在低溫下進(jìn)行失效試驗,根據(jù)失效時間與溫度的關(guān)系推出其他溫度下的失效時間。本發(fā)明能夠加快測量時間迅速地獲得預(yù)測壽命結(jié)果。
聲明:
“加速熱載流子注入測試的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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