本發(fā)明公開了一種利用Excel實(shí)現(xiàn)晶圓測(cè)試Summary標(biāo)準(zhǔn)化的方法，首先每個(gè)產(chǎn)品建立明確的失效項(xiàng)目表格和標(biāo)準(zhǔn)化的測(cè)試圖形母版（含標(biāo)準(zhǔn)參考點(diǎn)）；然后利用Excel?VBA編程將探針臺(tái)原始文件轉(zhuǎn)換成測(cè)試圖形（含確定的參考點(diǎn)）；再次利用Excel?VBA編程，計(jì)算參考點(diǎn)和標(biāo)準(zhǔn)參考點(diǎn)之間的差值，實(shí)現(xiàn)原始測(cè)試圖形和標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)試圖形母版的參考點(diǎn)的重合，同時(shí)進(jìn)行相關(guān)數(shù)據(jù)處理，生成和標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)試圖形母版一致的圖形；最后根據(jù)失效項(xiàng)目表格對(duì)批量處理后的標(biāo)準(zhǔn)化圖形進(jìn)行Summary信息提取統(tǒng)計(jì)，最終實(shí)現(xiàn)晶圓測(cè)試Summary的標(biāo)準(zhǔn)化。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了測(cè)試總數(shù)、失效項(xiàng)目等的嚴(yán)格統(tǒng)一，替換傳統(tǒng)的風(fēng)格各異的Summary格式，適用于不同類型探針臺(tái)生成的測(cè)試圖形或不同測(cè)試代工廠提供的測(cè)試圖形等。