本發(fā)明涉及一種基于多疲勞模式耦合的功率半導(dǎo)體器件壽命預(yù)測(cè)方法，針對(duì)功率半導(dǎo)體器件不同疲勞模式建立壽命預(yù)測(cè)模型；獲得功率半導(dǎo)體器件不同疲勞失效模式下的疲勞壽命模型參數(shù)數(shù)據(jù)并帶入壽命預(yù)測(cè)模型中；建立功率半導(dǎo)體器件電熱耦合模型獲取電熱循環(huán)工況參數(shù)；將獲取的電熱循環(huán)工況參數(shù)，代入中壽命預(yù)測(cè)模型中，計(jì)算不同疲勞失效模式對(duì)應(yīng)的疲勞壽命；根據(jù)疲勞壽命對(duì)電熱耦合模型結(jié)殼熱阻和導(dǎo)通電阻進(jìn)行退化修正。不僅可以判斷導(dǎo)致器件最終失效的疲勞模式，輸出對(duì)應(yīng)的疲勞壽命，而且還可以對(duì)器件服役過程中的熱阻/導(dǎo)通電阻等參數(shù)的動(dòng)態(tài)退化過程進(jìn)行仿真提取，為功率半導(dǎo)體器件長期運(yùn)行可靠性評(píng)估提供有效指導(dǎo)。