本發(fā)明涉及一種晶圓測試參數(shù)設(shè)置方法,不需要人工設(shè)置探針臺配置文件。同一產(chǎn)品,得到客戶提供的批號、片號、相應(yīng)目標坐標信息和管芯參數(shù)要求后,探針臺取得當前機臺內(nèi)的晶圓相應(yīng)批號、片號和坐標信息,測試機按照輸入信息參照目標坐標進行相應(yīng)管芯的自動測試掃描,并對失效管芯進行周圍位置管芯補測,自動測試的同時對失效進行驗證和數(shù)據(jù)補充。保證測試數(shù)據(jù)的正確性,測試靈活并且適應(yīng)各種客戶要求,避免人工設(shè)定造成的誤操作,有效地提高測試效率和質(zhì)量。
聲明:
“晶圓測試參數(shù)設(shè)置方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)