本申請公開了一種3D存儲器件的測試樣品制備方法,包括:在所述3D存儲器件中確定取樣區(qū)域;按照所述取樣區(qū)域從所述3D存儲器件切割出狹長的薄片;將所述薄片轉(zhuǎn)移并固定至基板上;以及將所述薄片減薄至預(yù)定厚度以獲得測試樣品,所述薄片轉(zhuǎn)移的過程中,其頂端與聚焦離子束系統(tǒng)的執(zhí)行器粘接,與所述頂面相對的底部接口與基板接觸。該測試樣品制備方法可以獲得用于電子顯微鏡觀察的狹長形狀的測試樣品,通過確定狹長結(jié)構(gòu)的失效位置以及估計失效原因來提高3D存儲器件的良率。
聲明:
“3D存儲器件的測試樣品制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)