一種互連線電遷移的測(cè)試裝置,包括互連線測(cè)試結(jié)構(gòu)和加熱金屬線,所述加熱金屬線環(huán)繞互連線測(cè)試結(jié)構(gòu),所述互連線測(cè)試結(jié)構(gòu)與測(cè)試電源連接,所述加熱金屬線的兩端與加熱電源連接;本發(fā)明還提供了一種互連線電遷移的測(cè)試方法。本發(fā)明互連線電遷移測(cè)試裝置和測(cè)試方法,能夠精確確定互連線電遷移測(cè)試裝置中待測(cè)互連線的激活能和電流密度指數(shù),進(jìn)而精確確定待測(cè)互連線的失效時(shí)間,提高了互連線電遷移評(píng)價(jià)的準(zhǔn)確性。
聲明:
“互連線電遷移的測(cè)試裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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