本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種半導(dǎo)體器件的耐量測(cè)試裝置及方法，通過(guò)電流沖擊單元按照設(shè)定峰值電流值、設(shè)定電流上升率以及設(shè)定脈沖周期向待測(cè)半導(dǎo)體器件輸入電流沖擊信號(hào)，并通過(guò)測(cè)試單元測(cè)試待測(cè)半導(dǎo)體器件上的電流沖擊信號(hào)、電流沖擊信號(hào)的測(cè)試脈沖次數(shù)以及待測(cè)半導(dǎo)體器件的器件狀態(tài)后，由主控單元根據(jù)待測(cè)半導(dǎo)體器件上的電流沖擊信號(hào)、電流沖擊信號(hào)的測(cè)試脈沖次數(shù)以及待測(cè)半導(dǎo)體器件的器件狀態(tài)生成待測(cè)半導(dǎo)體器件的電流上升率耐量值。如此，能夠?qū)雽?dǎo)體器件的電流上升率耐受能力進(jìn)行有效量化，以便于后續(xù)準(zhǔn)確評(píng)估半導(dǎo)體器件的電流上升率耐受能力，進(jìn)而采取必要手段降低半導(dǎo)體器件的失效比例。