本實(shí)用新型涉及真空測量裝置及深冷液體儲運(yùn)系統(tǒng),包括:組合真空規(guī)管、真空閥、過渡接頭及真空測量儀,組合真空規(guī)管內(nèi)部設(shè)置有熱偶規(guī)及熱陰極電離規(guī);真空閥的一端與組合真空規(guī)管密封連接,另一端與過渡接頭的一端密封連接;過渡接頭的另一端伸入待測設(shè)備的真空腔室,并與待測設(shè)備密封固定,使真空腔室與真空閥及組合真空規(guī)管能形成通路;真空測量儀與組合真空規(guī)管連通,并與熱偶規(guī)及熱陰極電離規(guī)電性連接。該深冷液體儲運(yùn)系統(tǒng)包括真空測量裝置及深冷液體儲運(yùn)設(shè)備,過渡接頭的另一端伸入深冷液體儲運(yùn)設(shè)備的真空腔室,能進(jìn)行高真空度區(qū)段的測量,能對深冷液體儲運(yùn)設(shè)備的真空度進(jìn)行全程測量及真空失效預(yù)判。
聲明:
“真空測量裝置及深冷液體儲運(yùn)系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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