本實用新型涉及一種非制冷紅外探測器的多像素封裝結(jié)構(gòu),包括襯底,所述襯底上形成有多個真空封裝單元,每個所述真空封裝單元包括形成于所述襯底上的真空微腔體以及封裝于該真空微腔體中的多個像素單元,各所述真空封裝單元在所述襯底上陣列布置。本實用新型提供的非制冷紅外探測器的多像素封裝結(jié)構(gòu),將各像素單元封裝在多個真空微腔體內(nèi),各真空微腔體相互獨立、互不影響,能避免非制冷紅外探測器容易真空封裝失效而導(dǎo)致探測器整體無法正常工作的技術(shù)問題;同時,由于每個真空微腔體內(nèi)封裝有多個像素單元,能在像素級封裝的基礎(chǔ)上有效地減小非制冷紅外探測器的面陣面積,尤其適用于大面陣非制冷紅外探測器的封裝。
聲明:
“非制冷紅外探測器的多像素封裝結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)