本發(fā)明涉及一種用于金屬阻擋層的刻蝕溶液及方法。所述刻蝕溶液由硝酸、氫氟酸和水配制而成,所述硝酸、氫氟酸和水的體積比為硝酸:氫氟酸:水=0.5~1.5:1:0.5~2,所述硝酸的質(zhì)量濃度為65%~70%,所述氫氟酸的質(zhì)量濃度為45%~49%。本發(fā)明采用了新配方的刻蝕溶液,可以選擇性地去除晶圓的鉭、氮化鉭、鈦或氮化鈦的金屬阻擋層,然后采用機(jī)械研磨的方法,即可去除氧化層,得到均勻的下層金屬層,提高了晶圓的平整性,滿足晶圓不同層次精細(xì)分析的需要,提高了失效分析的能力和效率。
聲明:
“用于金屬阻擋層的刻蝕溶液及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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