本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種過(guò)濾裝置。所述過(guò)濾裝置包括輸入管道、輸出管道以及設(shè)置于所述輸入管道與所述輸出管道之間的過(guò)濾器,還包括檢測(cè)組件;所述檢測(cè)組件包括均設(shè)置于所述過(guò)濾器與所述輸出管道之間的第一閥門和第二閥門;所述第二閥門用于對(duì)經(jīng)所述過(guò)濾器過(guò)濾的清洗液進(jìn)行取樣,以判斷所述過(guò)濾器是否失效;所述第一閥門用于在確認(rèn)所述過(guò)濾器失效后隔絕所述過(guò)濾器與所述輸出管道。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了對(duì)過(guò)濾裝置中失效過(guò)濾器的有效檢出,并降低了對(duì)所述過(guò)濾裝置的維護(hù)成本。
聲明:
“過(guò)濾裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)