本發(fā)明公開了一種振動(dòng)式單框架微控制力矩陀螺,屬于利用科氏效應(yīng)的制導(dǎo)或控制裝置領(lǐng)域。該機(jī)構(gòu)由單一的結(jié)構(gòu)層和支撐結(jié)構(gòu)層的玻璃基底構(gòu)成。結(jié)構(gòu)層中,轉(zhuǎn)子由弧形梳齒驅(qū)動(dòng),并通過支撐梁連接到框架上;框架由玻璃基底上的電極驅(qū)動(dòng),并將運(yùn)動(dòng)傳遞給轉(zhuǎn)子;最終梳齒和框架的運(yùn)動(dòng)通過科氏效應(yīng)產(chǎn)生輸出力矩。該發(fā)明的有益效果是:1)結(jié)構(gòu)層上的梳齒和外框電位可以實(shí)現(xiàn)分別控制;2)結(jié)構(gòu)簡單,轉(zhuǎn)子和框架處于同一層,加工工藝較簡單;3)采用折疊梁結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)大位移驅(qū)動(dòng),減小結(jié)構(gòu)的非線性效應(yīng),同時(shí)降低了驅(qū)動(dòng)電壓;4)在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)時(shí)分析推導(dǎo)了驅(qū)動(dòng)用電極和結(jié)構(gòu)層之間的尺寸關(guān)系,以避免“靜電吸合”現(xiàn)象的產(chǎn)生,防止結(jié)構(gòu)失效。
聲明:
“振動(dòng)式單框架微控制力矩陀螺” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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