該發(fā)明涉及一種晶粒定位器及晶粒的定位方法,其中所述晶粒定位器包括透明板,所述透明板表面設(shè)置有多個定位單元,所有定位單元均包括坐標(biāo)標(biāo)記,且各個定位單元的坐標(biāo)標(biāo)記不同,且在所述透明板放置到所述晶圓上方時,所述定位單元與晶圓的至少一個晶粒對應(yīng)設(shè)置。所述晶粒定位器及晶粒的定位方法能夠?qū)⒕Я顟B(tài)圖上的失效晶粒坐標(biāo)快速對應(yīng)到晶圓表面的具體晶粒,在做失效分析的過程中能快速準(zhǔn)確找到目標(biāo)晶粒,加快了失效晶粒的篩選速度,提高了失效晶粒的確認(rèn)準(zhǔn)確率,側(cè)面提高了所述
芯片的生產(chǎn)良率。
聲明:
“晶粒定位器及晶粒的定位方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)