本發(fā)明公開了電容式微機械加速度計及其制造方法,屬于微機械傳感器的技術(shù)領(lǐng)域。加速度計包括:硅片基座,形成在硅片基座上的絕緣層,沉積在絕緣層上的檢測電容層,以及
多晶硅活動結(jié)構(gòu)屏蔽層,多晶硅活動結(jié)構(gòu)層通過檢測電容層的支撐懸空,多晶硅活動結(jié)構(gòu)屏蔽層中的質(zhì)量塊在加速度作用下帶動支撐梁發(fā)生位移,檢測電容極板之間的電場線會發(fā)生變化,由電場線變化得到的電容變化值即為測量的加速度信息。利用邊緣電場效應(yīng)設(shè)計的電容式微機械加速度計,在大量程下具有大靈敏度,在激勵電容和外加激勵電壓作用下,檢測電容使其具有自檢功能且不會發(fā)生吸附失效。?
聲明:
“電容式微機械加速度計及其制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)