本發(fā)明公開了一種自激式全固態(tài)射頻電源,包括射頻信號發(fā)生器、射頻功率放大電路、供電線路、控制器和精密功率檢測器,精密功率檢測器包括有相位比較電路,檢測射頻功率放大電路輸出至負(fù)載的入射功率和反射功率;射頻信號發(fā)生器將根據(jù)入射功率和反射功率來調(diào)整其輸出功率信號的頻率,以使得射頻功率放大電路輸出至負(fù)載的反射功率小于入射功率的1%,控制器根據(jù)入射功率和反射功率來調(diào)整供電線路施加至射頻功率放大電路的電壓。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的射頻功率檢測,檢測范圍寬,精度一致性好,死區(qū)小,能夠?qū)崟r保護(hù)射頻功率放大電路,避免損壞失效。
聲明:
“自激式全固態(tài)射頻電源” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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