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基于雙路錯位陣列電容位移傳感的MEMS重力儀探頭及重力儀

903 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 09:00:49

本發(fā)明公開了一種基于雙路錯位陣列電容位移傳感的閉環(huán)MEMS重力儀探頭及重力儀，屬于儀器儀表領域。探頭包括：電容位移傳感模塊、電容檢測電路模塊、PID控制模塊及反饋執(zhí)行機模塊，且這幾個模塊構成磁閉環(huán)回路。電容位移傳感模塊包括兩路并行且錯位m/4個極板周期的動極板陣列，其中，m為正整數，當其中一路動極板陣列與定極板陣列構成的位移傳感器處于非敏感區(qū)間時，另一路動極板陣列與定極板陣列構成的位移傳感器正好處于敏感區(qū)間并用于檢測振子位移。本發(fā)明的探頭可有效避免現(xiàn)有單路陣列極板輸出由于質量塊下垂量不可控導致的位移檢測失效的問題，提升了檢測靈敏度，且采用閉環(huán)工作模式，提高探頭響應時間，具有更強的抗干擾能力。

聲明：

“基于雙路錯位陣列電容位移傳感的MEMS重力儀探頭及重力儀” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)