本發(fā)明涉及一種基于凝膠作用固定大高寬比微納結(jié)構(gòu)的方法,其步驟為:(1)配置好熱溶膠,濃度為:0.1%~2.0%,熱溶膠溫度為:50~95℃,凝膠化溫度:<40℃;(2)將熱溶膠添加于微納結(jié)構(gòu)上,改變溫度形成凝膠層,并通過旋涂或提拉工藝控制凝膠層的厚度及平整度,將大高寬比微納結(jié)構(gòu)固定在凝膠層中;(3)對已固定的大高寬比微納結(jié)構(gòu)進行檢測或添加夾具;(4)將檢測過的樣品置于熱水浴中,去除微納結(jié)構(gòu)上的凝膠。本發(fā)明通過在微納結(jié)構(gòu)中形成凝膠來消除溶劑揮發(fā)所產(chǎn)生的液體表面張力,從而防止結(jié)構(gòu)失效,將工藝形成的微納結(jié)構(gòu)有效地固定住,這樣可以通過檢測大高寬比微納結(jié)構(gòu)的好壞來進行工藝評價,以此來保證加工工藝的有效性。
聲明:
“基于凝膠作用固定大高寬比微納結(jié)構(gòu)的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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