本發(fā)明公開了一種基于雙路錯位陣列電容位移傳感的閉環(huán)MEMS重力儀探頭及重力儀,屬于
儀器儀表領(lǐng)域。探頭包括:電容位移傳感模塊、電容檢測電路模塊、PID控制模塊及反饋執(zhí)行機(jī)模塊,且這幾個模塊構(gòu)成磁閉環(huán)回路。電容位移傳感模塊包括兩路并行且錯位m/4個極板周期的動極板陣列,其中,m為正整數(shù),當(dāng)其中一路動極板陣列與定極板陣列構(gòu)成的位移傳感器處于非敏感區(qū)間時,另一路動極板陣列與定極板陣列構(gòu)成的位移傳感器正好處于敏感區(qū)間并用于檢測振子位移。本發(fā)明的探頭可有效避免現(xiàn)有單路陣列極板輸出由于質(zhì)量塊下垂量不可控導(dǎo)致的位移檢測失效的問題,提升了檢測靈敏度,且采用閉環(huán)工作模式,提高探頭響應(yīng)時間,具有更強(qiáng)的抗干擾能力。
聲明:
“基于雙路錯位陣列電容位移傳感的MEMS重力儀探頭及重力儀” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)