本發(fā)明涉及高沖擊信號(hào)檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種帶有三向沖擊傳感器
芯片的彈載記錄儀,包括有主控模塊、電源模塊、信號(hào)處理電路、信號(hào)調(diào)理電路和存儲(chǔ)模塊,所述彈載記錄儀還包括有三向沖擊傳感器,所述三向沖擊傳感器包括有晶圓襯底和三個(gè)檢測(cè)沖擊加速度的敏感元件,每個(gè)敏感元件均包括有若干個(gè)長條狀的硅梁和兩個(gè)并列且在同一平面的質(zhì)量塊,所述晶圓襯底設(shè)置有若干個(gè)用于容納質(zhì)量塊的方形槽,所有能夠與同一個(gè)質(zhì)量塊抵觸配合的硅梁上均設(shè)置有應(yīng)變電阻,所有應(yīng)變電阻均電性連接有引腳,本發(fā)明大大鎖緊彈載記錄儀的體積,解決了采集模式單一的問題,解決測(cè)試準(zhǔn)確性不高的問題。能夠降低檢測(cè)失效的可能性。
聲明:
“帶有三向沖擊傳感器芯片的彈載記錄儀” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)