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掩膜板修復方法及掩膜板組件

1115 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 09:00:55

本發(fā)明提供了一種掩膜板修復方法及掩膜板組件，掩膜板修復方法包括將掩膜板主體與基板對位，之后檢測掩膜板上開口的偏位情況，檢測步驟包括：對位檢測設備抓取掩膜板主體上的開口邊緣坐標，將開口邊緣坐標與存儲器中相應的預設開口邊緣坐標進行比對，根據開口邊緣坐標與預設開口邊緣坐標的比對結果獲取開口邊緣與相應的預設開口邊緣之間的偏位情況，其中，開口的偏位情況包括開口邊緣位于相應的預設開口邊緣的內側以及開口邊緣位于相應的預設開口邊緣的外側，之后根據掩膜板上開口的偏位情況進行處理以使得開口符合預設開口標準。該掩膜板修復方法能夠修復掩膜板上開口的偏位問題，避免制作的目標膜層失效的問題。

聲明：

“掩膜板修復方法及掩膜板組件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)