本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，公開了一種機(jī)械手及其獲取傳輸晶圓的方法，晶圓在運(yùn)輸通道內(nèi)進(jìn)行運(yùn)輸時(shí)，通過水平導(dǎo)軌與第一紅外發(fā)射端等設(shè)置，將晶圓片推至既定位置處，便于后續(xù)機(jī)械爪直接取出晶圓片，從而避免晶圓在運(yùn)輸通道內(nèi)傳輸時(shí)對(duì)其實(shí)時(shí)檢測(cè)相對(duì)位置，同時(shí)，避免通過調(diào)整機(jī)械爪的位置以適應(yīng)不同偏移程度的晶圓進(jìn)行抓取，費(fèi)時(shí)費(fèi)力且降低運(yùn)輸效率，機(jī)械爪轉(zhuǎn)運(yùn)晶圓過程中，若夾緊組件失效，導(dǎo)致晶圓發(fā)生位置偏移，通過第二紅外發(fā)射端等設(shè)置，在機(jī)械爪運(yùn)轉(zhuǎn)晶圓的過程中，實(shí)時(shí)對(duì)晶圓的相對(duì)位置進(jìn)行檢測(cè)并實(shí)時(shí)調(diào)整，避免在發(fā)生意外偏移后停止機(jī)械爪的操作，耽誤時(shí)間降低機(jī)械爪的運(yùn)轉(zhuǎn)利率。