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蒸鍍坩堝

1180   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 09:01:21
本實用新型涉及蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種蒸鍍坩堝,在坩堝本體內(nèi)腔設(shè)置壓力傳感器和控制裝置,無線監(jiān)測裝置分別與壓力傳感器和控制裝置電連接,這樣能夠根據(jù)壓力傳感器檢測到的坩堝本體內(nèi)的有機(jī)氣體的壓力值來調(diào)節(jié)控制裝置的有機(jī)氣體進(jìn)入的氣體量,一方面能夠避免由于坩堝本體出料量隨蒸鍍時間的增加而減少引起的鍍率波動,從而避免鍍率波動引起的所設(shè)定的參數(shù)表失效等一系列問題,減小生產(chǎn)停止的風(fēng)險;另一方面,坩堝本體出料量的穩(wěn)定,有利于目標(biāo)膜層的均勻性,提高產(chǎn)品的良率。
聲明:
“蒸鍍坩堝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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