本發(fā)明提供一種確定連通存儲元件中的接觸塞的缺陷的方法,包括:預(yù)處理存儲元件,露出作為位線的受控金屬層,包括失效的第一位線和第二位線;將存儲元件按側(cè)面朝上即第一位線處于第二位線上方的方式置于研磨臺,實(shí)施研磨直至露出第一位線;沉積介電層,覆蓋存儲元件的頂面部分及其露出第一位線的側(cè)面部分;在介電層中形成通孔,露出第一位線的部分側(cè)面或者頂端電連接第一位線的多個接觸塞中的任意一個的部分側(cè)面;在通孔中形成金屬接觸;將存儲元件按另一側(cè)面朝上即第二位線處于第一位線上方的方式置于研磨臺,實(shí)施研磨直至露出第二位線;去除第二位線;確定缺陷的位置。根據(jù)本發(fā)明,檢測前的預(yù)處理過程更為簡單,不會破壞所述缺陷。
聲明:
“確定連通存儲元件中的接觸塞的缺陷的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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