本發(fā)明提供一種光刻設(shè)備、定位系統(tǒng)和定位方法。具體地,一種用于光刻設(shè)備的定位系統(tǒng),包括:控制系統(tǒng),用于沿至少一個基本上平行于框架的方向定位所述光刻設(shè)備的可移動物體,所述控制系統(tǒng)包括:測量系統(tǒng),用于測量所述可移動物體的位置;致動器,用于施加力到所述可移動物體;和控制器,用于基于所述測量系統(tǒng)的輸出提供驅(qū)動信號給所述致動器;和緊急制動系統(tǒng),其配置成確定所述控制系統(tǒng)的失效,并且如果確定所述失效,禁用所述控制系統(tǒng)并且對抗所述框架拉動所述可移動物體。
聲明:
“光刻設(shè)備、定位系統(tǒng)以及定位方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)