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具有過電流保護(hù)的電容式微加工超聲換能器

779   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 09:01:44
一種CMUT單元的陣列具有DC偏置電壓,所述DC偏置電壓被耦合至單元的頂部電極以將所述電極偏置到期望的塌陷或部分塌陷狀態(tài)。在CMUT單元的短路失效的情況下,針對(duì)所述單元的保護(hù)電路感測(cè)過電流狀況,并且通過斷開通過失效的單元的DC電流路徑而做出響應(yīng)。所述保護(hù)電路還禁用所述單元的發(fā)射和接收電路。在另一實(shí)施方案中,感測(cè)電路感測(cè)DC偏置源的過電流狀況,并且通過禁用所述陣列的所有CMUT單元而做出響應(yīng),然后順序地重新啟用所述CMUT單元,除了重新啟用失效的單元的嘗試導(dǎo)致該單元保持在禁用狀況下的情況。
聲明:
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