本文中描述一種方法。所述方法包括:獲得(i)所述特征的參數(shù)的測量結(jié)果、(ii)與圖案化過程的過程變量相關(guān)的數(shù)據(jù)、(iii)基于所述參數(shù)的所述測量結(jié)果和與所述過程變量相關(guān)的所述數(shù)據(jù)而被定義為所述過程變量的函數(shù)的所述參數(shù)的函數(shù)行為、(iv)所述特征的失效率的測量結(jié)果,以及(v)針對所述過程變量的設(shè)定的所述過程變量的概率密度函數(shù);基于轉(zhuǎn)換函數(shù)將所述過程變量的所述概率密度函數(shù)轉(zhuǎn)換成所述參數(shù)的概率密度函數(shù),其中基于所述過程變量的所述函數(shù)來確定所述轉(zhuǎn)換函數(shù);以及基于所述參數(shù)的所述概率密度函數(shù)、以及所述失效率的所述測量結(jié)果,來確定所述參數(shù)的參數(shù)極限。
聲明:
“基于缺陷概率的過程窗口” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)