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MEMS電容式加速度傳感器電-機(jī)械沖擊下的試驗(yàn)方法

747   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 09:02:32
本發(fā)明提供一種微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS:Micro?Electro?mechanical System)電容式加速度傳感器電?機(jī)械沖擊下的試驗(yàn)方法。它主要針對MEMS電容式加速度傳感器的電?機(jī)械沖擊試驗(yàn)的使用需求,提出其目的、試驗(yàn)要求、程序、失效判據(jù),屬于試驗(yàn)方法領(lǐng)域。該發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是:1)能獲得MEMS電容式加速度傳感器在工作狀態(tài)下的機(jī)械沖擊可靠性信息,滿足MEMS電容式加速度傳感器在工程應(yīng)用中的需求;2)形成覆蓋MEMS電容式加速度傳感器在電?機(jī)械沖擊狀態(tài)下的試驗(yàn)方法,獲得在電?機(jī)械沖擊條件下MEMS電容式加速度傳感器的失效判據(jù)。能支撐MEMS電容式加速度傳感器電?機(jī)械沖擊應(yīng)力下的鑒定檢驗(yàn)工作。
聲明:
“MEMS電容式加速度傳感器電-機(jī)械沖擊下的試驗(yàn)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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