本申請(qǐng)涉及一種GaN功率器件動(dòng)態(tài)應(yīng)力老化試驗(yàn)方法和系統(tǒng)，包括：獲取被測(cè)GaN功率器件對(duì)應(yīng)的動(dòng)態(tài)脈沖電壓應(yīng)力數(shù)據(jù)與溫度應(yīng)力數(shù)據(jù)；其中，動(dòng)態(tài)脈沖電壓應(yīng)力數(shù)據(jù)用于周期切換被測(cè)GaN功率器件的開(kāi)關(guān)狀態(tài)；根據(jù)動(dòng)態(tài)脈沖電壓應(yīng)力數(shù)據(jù)與溫度應(yīng)力數(shù)據(jù)得到試驗(yàn)條件；根據(jù)試驗(yàn)條件對(duì)被測(cè)GaN功率器件進(jìn)行動(dòng)態(tài)應(yīng)力老化試驗(yàn)，并采集被測(cè)GaN功率器件在應(yīng)力過(guò)程中的電參數(shù)；根據(jù)電參數(shù)與預(yù)設(shè)失效閾值進(jìn)行比較，得到試驗(yàn)結(jié)果，通過(guò)施加更接近被測(cè)GaN功率器件實(shí)際工況的動(dòng)態(tài)脈沖電壓應(yīng)力，更為真實(shí)、嚴(yán)苛的反映GaN功率器件的可靠性，同時(shí)在應(yīng)力施加過(guò)程中在線快速監(jiān)測(cè)電參數(shù)的真實(shí)退化情況，避免了離線測(cè)試與器件快速恢復(fù)特性導(dǎo)致測(cè)不準(zhǔn)的難題。