本實(shí)用新型公開一種用于VGF磷化銦單晶生長爐內(nèi)的爐芯,所述爐芯從內(nèi)到外依次包括爐芯桿、高鋁水泥層和濕氈層,所述爐芯桿包括圓柱形主桿和兩條半圓形側(cè)管,側(cè)管對(duì)稱設(shè)置于主桿兩側(cè),并和主桿一體成型,爐芯桿為石英材質(zhì),所述側(cè)管內(nèi)置測(cè)溫?zé)犭娕?,且測(cè)溫?zé)犭娕寂c爐芯桿活動(dòng)連接,本實(shí)用新型的VGF法磷化銦單晶生長爐芯,設(shè)計(jì)科學(xué),結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便,爐芯內(nèi)測(cè)溫?zé)犭娕嘉恢每删_調(diào)整,使不同爐芯的測(cè)溫點(diǎn)固定一致,增加了爐芯內(nèi)測(cè)溫的真實(shí)準(zhǔn)確性,特別地,在測(cè)溫?zé)犭娕际Ш?,可以自由拆卸測(cè)溫?zé)犭娕歼M(jìn)行維修或更換,提高了爐芯使用壽命,節(jié)約生產(chǎn)成本。
聲明:
“用于VGF磷化銦單晶生長爐內(nèi)的爐芯” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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