本發(fā)明提供了一種SiC PiN雙極性退化的篩選方法，該方法首先選擇正向?qū)ㄌ匦哉５腟iC PiN器件進(jìn)行雙極性退化篩選試驗(yàn)，并在試驗(yàn)前確定合適大小的正向?qū)娏髅芏?；之后在老練測(cè)試試驗(yàn)中對(duì)SiC PiN器件的正向?qū)妷鹤兓厔?shì)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，剔除不合格器件，最后比較通過(guò)老練測(cè)試試驗(yàn)的SiC PiN器件在老煉測(cè)試試驗(yàn)前后的正向?qū)ㄌ匦?，進(jìn)一步剔除出現(xiàn)雙極性退化的SiC PiN器件。本發(fā)明公開(kāi)的SiC PiN雙極性退化的篩選方法，首次建立了SiC PiN的雙極性退化篩選方法，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)外目前尚無(wú)針對(duì)SiC PiN雙極性退化的篩選方法的空白，利用該方法可以在更短時(shí)間內(nèi)高效地剔除SiC材料中層錯(cuò)等擴(kuò)展缺陷導(dǎo)致的早期失效，提高器件的長(zhǎng)期可靠性。