本實(shí)用新型提供一種解膠機(jī),包括箱形本體,本體前方具有開(kāi)口,本體內(nèi)空腔頂部中間區(qū)域設(shè)UV光源,UV光源照射方向向下;托架為抽屜形,其可從開(kāi)口處伸入并水平放置于本體內(nèi)空腔底部,托架中間區(qū)域具有圓形的第一鏤空部;載具,載具為直徑大于第一鏤空部的中空柱體,其兩側(cè)的徑向截面相互平行,至少其中一側(cè)用以與UV膜的黏貼面貼合并將UV膜固定為平面;測(cè)距單元,設(shè)于本體內(nèi)空腔頂部或底部的中間區(qū)域,用于測(cè)量測(cè)距單元至載具一側(cè)UV膜之間的距離;利用了載具正反放置,其一側(cè)的UV膜具至測(cè)距單元的距離有高度差,即可識(shí)別待解膠晶圓片是否放反,以解決因操作人員失誤將待解膠的晶圓片放反,解膠流程失效導(dǎo)致器件損壞,生產(chǎn)成本增加的問(wèn)題。
聲明:
“解膠機(jī)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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