一種半導(dǎo)體缺陷剔除方法。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工領(lǐng)域,尤其涉及一種半導(dǎo)體缺陷剔除方法。提供了一種利用半導(dǎo)體溫度敏感特性,抓住缺陷部位和其它部位的載流子濃度對(duì)溫度敏感程度存在較大差異的特點(diǎn),可靠剔除微缺陷器件的半導(dǎo)體缺陷剔除方法。本發(fā)明在工作中,先對(duì)半導(dǎo)體施加正向電流,提升半導(dǎo)體結(jié)溫;結(jié)溫提升的情況下對(duì)半導(dǎo)體施加反向浪涌,可有效剔除常溫下無(wú)法測(cè)試出的帶有缺陷的半導(dǎo)體器件,可有效降低半導(dǎo)體失效率,提升半導(dǎo)體器件可靠性。
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