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目前在對(duì)半導(dǎo)體電子材料進(jìn)行輻照研究時(shí)往往通過輻照箱來進(jìn)行,將半導(dǎo)體電子材料放入輻照箱內(nèi)從而對(duì)半導(dǎo)體電子材料進(jìn)行輻照研究,但由于半導(dǎo)體電子材料大都是片狀的,從而使半導(dǎo)體電子材料的上下表面和每一表面的不同位置容易出現(xiàn)輻照不均勻的現(xiàn)象,從而影響對(duì)半導(dǎo)體電子材料輻照效應(yīng)的研究。為此,提出用于半導(dǎo)體電子材料輻照效應(yīng)研究的裝置。
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