一種金屬硅化物boe刻蝕廢水零排放處理裝置及方法

技術(shù)領(lǐng)域

1.本發(fā)明涉及一種金屬硅化物boe刻蝕廢水零排放處理裝置及方法，屬于廢水處理工程技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

2.太陽能光伏能源作為綠色能源逐漸被廣泛應(yīng)用，但隨之而來的是太陽能電池生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢水污染，其污染物成分復(fù)雜、濃度高，若不能達(dá)標(biāo)排放，將產(chǎn)生不可逆的不良影響。

3.太陽能電池生產(chǎn)一般包括制絨、擴(kuò)散制結(jié)、刻蝕、pecvd鍍減反射膜、絲網(wǎng)印刷電極、燒結(jié)等過程，廢水主要來自于制絨、刻蝕等環(huán)節(jié)的生產(chǎn)排水以及硅烷燃燒塔、氮氧排洗滌塔的排水，各環(huán)節(jié)產(chǎn)廢性質(zhì)各不相同。由于產(chǎn)能提升和產(chǎn)品升級需要，生產(chǎn)功能改進(jìn)、技術(shù)更新，產(chǎn)生了含氟、含氨氮的金屬硅化物刻蝕boe廢水。該廢水主要來源于蝕刻劑，主要污染物為重金屬離子，還有少量f-、nh

3-n、懸浮物等。這部分金屬硅化物boe刻蝕廢水直接外排將嚴(yán)重危害人類身體健康。處理得當(dāng)，不僅可以使廢水達(dá)標(biāo)排放，還可以對廢水進(jìn)行回用，同時(shí)也可將廢水中的有價(jià)金屬回收利用。

4.傳統(tǒng)的重金屬廢水處理方法包括：化學(xué)沉淀、氧化還原處理、蒸發(fā)濃縮法、離子交換法、吸附法、膜分離法、電化學(xué)法。單一方法均存在技術(shù)上的缺陷，并且由于該金屬硅化物boe刻蝕廢水中除了重金屬離子，還含有f-和nh

3-n，需考慮同步去除回用。其中，重點(diǎn)在于對工藝流程及工況的選擇。

5.目前，重金屬回收、脫氮、除氟都分別有各自的處理工藝，但是這些工藝單獨(dú)進(jìn)行會增加建設(shè)成本、需要額外添加多種化學(xué)藥劑、消耗能源，經(jīng)濟(jì)效益低，因此需要尋求一種更加簡單、清潔和高效的回用技術(shù)以滿足廢水回用的需求。隨著國家和各省區(qū)污染綜合防治規(guī)劃和相關(guān)技術(shù)要求的實(shí)施，迫切需要一種能滿足排水水質(zhì)和節(jié)水回用更高要求的工藝系統(tǒng)，解決廢水回用效率低、回用水質(zhì)差、運(yùn)行成本高等問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

6.發(fā)明目的：針對現(xiàn)有金屬硅化物boe刻蝕廢水在同步除氟脫氮的回用過程中建設(shè)成本高、需要額外添加多種化學(xué)藥劑、能耗高、回收率低、回收水質(zhì)差、運(yùn)行成本高問題，提供了金屬硅化物boe刻蝕廢水零排放處理裝置及方法，對該股廢水進(jìn)行回收利用，回收效率高、去除效果好、便于操作，能經(jīng)濟(jì)穩(wěn)定地長期運(yùn)行。

7.技術(shù)方案：為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為：

8.一種金屬硅化物boe刻蝕廢水零排放處理裝置，包括廢水收集池、高效集成反應(yīng)沉淀池、酸堿調(diào)節(jié)緩沖池、砂濾器、炭濾器、過濾水箱、膜濾系統(tǒng)、膜濾水箱、保安過濾器、一級脫鹽膜處理系統(tǒng)，其中：

9.所述廢水收集池的出水端與高效集成反應(yīng)沉淀池的進(jìn)水端連接，高效集成反應(yīng)沉淀池的出水端連接至酸堿調(diào)節(jié)緩沖池的進(jìn)水端，酸堿調(diào)節(jié)緩沖池的出水端通過過濾增壓泵

與砂濾器的進(jìn)水端連接，砂濾器的出水端連接至炭濾器的進(jìn)水端，炭濾器的出水端連接至過濾水箱的進(jìn)水端，過濾水箱的出水端通過膜濾增壓泵與膜濾系統(tǒng)的進(jìn)水端連接，膜濾系統(tǒng)的出水端連接至膜濾水箱的進(jìn)水端，膜濾水箱的出水端通過一級高壓泵與保安過濾器的進(jìn)水端連接，保安過濾器的出水端連接至一級脫鹽膜處理系統(tǒng)的進(jìn)水端。

10.所述一級脫鹽膜處理系統(tǒng)的濃水出水端、殺菌還原水池、排放監(jiān)測水池依次連接，所述一級脫鹽膜處理系統(tǒng)的產(chǎn)水出水端、一級產(chǎn)水水箱、二級高壓泵、二級脫鹽膜處理系統(tǒng)依次連接。所述二級脫鹽膜處理系統(tǒng)的濃水出水端與膜濾水箱連接，所述二級脫鹽膜處理系統(tǒng)的產(chǎn)水出水端與回用水箱連接。

11.優(yōu)選的：所述一級脫鹽膜處理系統(tǒng)為分段第一處理系統(tǒng)，上一段第一處理系統(tǒng)濃水出水口與下一段第一處理系統(tǒng)進(jìn)水口相連，最終段第一處理系統(tǒng)的濃水通過所述一級脫鹽膜處理系統(tǒng)的濃水出水端進(jìn)入所述殺菌還原水池。各段第一處理系統(tǒng)的產(chǎn)水匯總后通過所述一級脫鹽膜處理系統(tǒng)的產(chǎn)水出水端進(jìn)入一級產(chǎn)水水箱，從而提高產(chǎn)水回用率。

12.所述二級脫鹽膜處理系統(tǒng)為分段第二處理系統(tǒng)，上一段第二處理系統(tǒng)濃水出水口與下一段第二處理系統(tǒng)進(jìn)水口相連，最終段第二處理系統(tǒng)的濃水通過二級脫鹽膜處理系統(tǒng)的濃水出水端進(jìn)入膜濾水箱。各段第二處理系統(tǒng)的產(chǎn)水匯總后通過二級脫鹽膜處理系統(tǒng)的產(chǎn)水出水端進(jìn)入回用水箱，從而提高產(chǎn)水回用率。

13.優(yōu)選的：所述一級脫鹽膜處理系統(tǒng)濃水出水端通過蒸發(fā)結(jié)晶增壓泵連接至蒸發(fā)結(jié)晶系統(tǒng)，蒸發(fā)結(jié)晶系統(tǒng)處理后的冷凝水回流至所述膜濾水箱，蒸發(fā)結(jié)晶系統(tǒng)處理后的結(jié)晶或廢液委外處置，從而實(shí)現(xiàn)廢水零排。

14.所述二級脫鹽膜處理系統(tǒng)產(chǎn)水端與所述回用水箱之間設(shè)置有依次連接的二級產(chǎn)水水箱、電除鹽增壓泵、連續(xù)電除鹽裝置。所述二級脫鹽膜處理系統(tǒng)產(chǎn)水端與所述回用水箱之間可增設(shè)連續(xù)電除鹽裝置，所述二級脫鹽膜處理系統(tǒng)產(chǎn)水進(jìn)入二級產(chǎn)水水箱，通過電除鹽增壓泵泵送至所述連續(xù)電除鹽裝置，出水自流至所述回用水箱，從而提高脫鹽率。

15.優(yōu)選的：所述高效集成反應(yīng)沉淀池的排泥口連接有污泥處理系統(tǒng)。所述污泥處理系統(tǒng)包括依次連接的排泥泵、污泥儲池、進(jìn)泥泵、污泥壓濾系統(tǒng)、污泥干化系統(tǒng)，所述污泥壓濾裝置的濾液出口連接至廢水收集池。

16.優(yōu)選的：所述高效集成反應(yīng)沉淀池包括酸堿反應(yīng)池、絮凝反應(yīng)池、沉淀池、高效沉淀加藥系統(tǒng)，所述酸堿反應(yīng)池、絮凝反應(yīng)池和沉淀池依次連接，所述高效沉淀加藥系統(tǒng)設(shè)置于酸堿反應(yīng)池、絮凝反應(yīng)池上，所述酸堿反應(yīng)池上設(shè)置有在線ph計(jì)一。所述高效沉淀加藥系統(tǒng)投加的藥劑包括堿液、除氟劑、重捕劑、鐵鹽絮凝劑。通過在線ph計(jì)一調(diào)控加藥量，使所述酸堿調(diào)節(jié)緩沖池出水ph為8-9。所述酸堿加藥系統(tǒng)投加的藥劑包括hcl、h2so4、naoh、koh中的一種或多種。

17.優(yōu)選的：所述酸堿調(diào)節(jié)緩沖池上裝有在線ph計(jì)二、酸堿加藥系統(tǒng)。所述殺菌還原水池上裝有殺菌加藥系統(tǒng)。所述排放監(jiān)測水池上裝有在線監(jiān)測儀器。所述在線監(jiān)測儀器包括在線ph計(jì)、在線氨氮檢測儀、在線f-檢測儀、在線cod檢測儀、在線do檢測儀、在線tn檢測儀等儀器中的一種或多種。

18.優(yōu)選的：所述保安過濾器采用聚丙烯材質(zhì)的pp濾芯，保安過濾器濾芯孔徑為0.5-6微米，濾芯孔徑優(yōu)選用1微米或5微米。

19.優(yōu)選的：所述膜濾系統(tǒng)為聚偏氟乙烯材質(zhì)的外壓式中空纖維膜濾系統(tǒng)。膜濾系統(tǒng)

是一種壓力驅(qū)動的凈化工藝，可將顆粒物質(zhì)與可溶性組分分離，采用聚偏氟乙烯材質(zhì)的外壓式中空纖維膜，公稱孔徑為0.03微米，使用壓力為0.01～0.3mpa，適用ph為2～11，耐受溫度為1～40℃，采用全流過濾模式。所述一級脫鹽膜處理系統(tǒng)和二級脫鹽膜處理系統(tǒng)采用卷式聚酰胺復(fù)合膜，公稱孔徑《1nm，使用壓力為2～200mpa，適用ph為2～11，耐受溫度為1～45℃。所述殺菌還原水池上裝有殺菌加藥系統(tǒng)，所述殺菌加藥系統(tǒng)投加的藥劑包括次氯酸化合物、次氯酸或能生產(chǎn)次氯酸的反應(yīng)物。

20.一種金屬硅化物boe刻蝕廢水零排放處理方法，包括以下步驟：

21.步驟1，金屬硅化物boe刻蝕廢水進(jìn)入廢水收集池后，定量輸送金屬硅化物boe刻蝕廢水至高效集成反應(yīng)沉淀池。

22.步驟2，通過高效沉淀加藥系統(tǒng)向高效集成反應(yīng)沉淀池投加高效沉淀反應(yīng)藥劑進(jìn)行反應(yīng)沉淀，通過在線ph計(jì)一控制高效沉淀反應(yīng)藥劑的用量，使得廢水在高效集成反應(yīng)沉淀池進(jìn)行充分反應(yīng)，高效集成反應(yīng)沉淀池中反應(yīng)沉淀后的廢水輸送至酸堿調(diào)節(jié)緩沖池。

23.高效集成反應(yīng)沉淀池產(chǎn)生的污泥通過排泥泵泵送至污泥儲池，所述污泥儲池中的污泥通過進(jìn)泥泵泵送至污泥壓濾系統(tǒng)，壓成泥餅后運(yùn)送至污泥干化系統(tǒng)進(jìn)行干化后委外處置，所述污泥壓濾系統(tǒng)濾液回流至所述廢水收集池內(nèi)。

24.步驟3，通過酸堿加藥系統(tǒng)向酸堿調(diào)節(jié)緩沖池內(nèi)投加ph調(diào)節(jié)藥劑，通過酸堿調(diào)節(jié)緩沖池上的在線ph計(jì)二控制ph調(diào)節(jié)藥劑用量，調(diào)節(jié)酸堿調(diào)節(jié)緩沖池的出水ph至8～9。然后將ph調(diào)節(jié)好的廢水通過過濾增壓泵泵入砂濾器，砂濾器過濾后的廢水進(jìn)入炭濾器過濾，炭濾器過濾后的廢水輸送至過濾水箱。

25.步驟4，所述過濾水箱內(nèi)的廢水通過膜濾增壓泵泵送至膜濾處理系統(tǒng)，膜濾處理系統(tǒng)的過濾后的廢水送入膜濾水箱。

26.步驟5，所述膜濾水箱的出水通過一級高壓泵泵送至保安過濾器，之后進(jìn)入到一級脫鹽膜處理系統(tǒng)。

27.步驟6，所述一級脫鹽膜處理系統(tǒng)濃水出水端的濃水輸送至殺菌還原池，通過殺菌加藥系統(tǒng)向殺菌還原池投加殺菌藥劑，殺菌后輸送至排放監(jiān)測水池。所述一級脫鹽膜處理系統(tǒng)產(chǎn)水出水端的產(chǎn)水輸送至一級產(chǎn)水水箱，一級產(chǎn)水水箱內(nèi)的一級產(chǎn)水通過二級高壓泵泵送至二級脫鹽膜處理系統(tǒng)。

28.步驟7，所述二級脫鹽膜處理系統(tǒng)的濃水出水端的濃水回流至膜濾水箱，所述二級脫鹽膜處理系統(tǒng)的產(chǎn)水出水端產(chǎn)水輸送至回用水箱?；赜盟鋬?nèi)的回用水通過回用提升泵泵送至各回用點(diǎn)。

29.優(yōu)選的：高效沉淀反應(yīng)藥劑包括堿液、除氟劑、重捕劑、鐵鹽絮凝劑的一種或者兩種以上的混合物。ph調(diào)節(jié)藥劑為hcl、h2so4、naoh、koh一種或者兩種以上的混合物。

30.本發(fā)明相比現(xiàn)有技術(shù)，具有以下有益效果：

31.1.本發(fā)明采用的高效集成反應(yīng)沉淀池及加藥系統(tǒng)可以同步去除重金屬離子、f-、懸浮物等污染，適用范圍廣，能適應(yīng)不同水質(zhì)水量的變化，占地面積小、投資少、運(yùn)行成本低。

32.2.本發(fā)明可通過將一級脫鹽膜處理系統(tǒng)設(shè)置為分段系統(tǒng)，從而提高廢水回收率，適應(yīng)不同水量的回用率要求，達(dá)到資源利用最大化。

33.3.本發(fā)明可通過在一級脫鹽膜處理系統(tǒng)濃水出水端增設(shè)多效蒸發(fā)器，冷凝水回

流，從而實(shí)現(xiàn)廢水零排。

34.4.本發(fā)明可通過在二級脫鹽膜處理系統(tǒng)產(chǎn)水端增設(shè)連續(xù)電除鹽裝置，以提高脫鹽率，保障廢水能穩(wěn)定達(dá)到回用水水質(zhì)要求。

35.5.本發(fā)明適用于不同水質(zhì)水量的廢水，可滿足不同回用水水質(zhì)水量要求，對污染物去除率高，廢水回用效率高，廢水排放量少。運(yùn)行成本低、占地面積小、投資成本低，系統(tǒng)操作簡便，運(yùn)行穩(wěn)定。處理后的產(chǎn)水循環(huán)利用，既節(jié)約資源，又減少了污染物排放。

附圖說明

36.圖1為本發(fā)明的工藝流程示意圖。

37.圖2為本發(fā)明中各工藝裝置連接示意圖。

38.圖3為本發(fā)明中一級脫鹽膜處理系統(tǒng)設(shè)置多段處理連接示意圖。

39.圖4為本發(fā)明中一級脫鹽膜處理系統(tǒng)濃水出水端增設(shè)蒸發(fā)結(jié)晶裝置連接示意圖。

40.圖5為本發(fā)明中二級脫鹽膜處理系統(tǒng)產(chǎn)水出水端增設(shè)連續(xù)電除鹽裝置連接示意圖。

41.其中，1、廢水收集池，2、提升泵，3、高效集成反應(yīng)沉淀池，4、酸堿調(diào)節(jié)緩沖池，5、過濾增壓泵，6、砂濾器，7、炭濾器，8、過濾水箱，9、膜濾增壓泵，10、膜濾系統(tǒng)，11、膜濾水箱，12、一級高壓泵，13、保安過濾器，14、一級脫鹽膜處理系統(tǒng)，15、一級產(chǎn)水水箱，16、二級高壓泵，17、二級脫鹽膜處理系統(tǒng)，18、回用水箱，19、回用提升泵，20、殺菌還原水池，21排放監(jiān)測水池，22、污泥處理系統(tǒng)，23、酸堿反應(yīng)池，24、絮凝反應(yīng)池，25、沉淀池，261、在線ph計(jì)一，262、在線ph計(jì)二，27、高效沉淀加藥系統(tǒng)，28、酸堿加藥系統(tǒng)，29、殺菌加藥系統(tǒng)，30、在線監(jiān)測儀器，31、蒸發(fā)結(jié)晶增壓泵，32、蒸發(fā)結(jié)晶系統(tǒng)，33、連續(xù)電除鹽系統(tǒng)，34電除鹽增壓泵，221、排泥泵，222、污泥儲池，223、進(jìn)泥泵，224、污泥壓濾系統(tǒng)，225、污泥干化系統(tǒng)。

具體實(shí)施方式

42.下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡明本發(fā)明，應(yīng)理解這些實(shí)例僅用于說明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍，在閱讀了本發(fā)明之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員對本發(fā)明的各種等價(jià)形式的修改均落于本技術(shù)所附權(quán)利要求所限定的范圍。

43.實(shí)施例1

44.一種金屬硅化物boe刻蝕廢水零排放系統(tǒng)，如圖1-2所示，包括廢水收集池1，所述廢水收集池1出水端連接至提升泵2進(jìn)水口，提升泵2出水口連接至高效集成反應(yīng)沉淀池3進(jìn)水端，高效集成反應(yīng)沉淀池3出水端連接至酸堿調(diào)節(jié)緩沖池4進(jìn)水端，酸堿調(diào)節(jié)緩沖池4出水端連接至過濾增壓泵5進(jìn)水口，過濾增壓泵5出水口連接至砂濾器6進(jìn)水端，砂濾器6出水端連接至炭濾器7進(jìn)水端，炭濾器7出水端連接至過濾水箱8進(jìn)水端，過濾水箱8出水端連接至膜濾增壓泵9進(jìn)水口，膜濾增壓泵9出水口連接至膜濾系統(tǒng)10進(jìn)水端，膜濾系統(tǒng)10出水端連接至膜濾水箱11進(jìn)水端，膜濾水箱11出水端連接至一級高壓泵12進(jìn)水口，一級高壓泵12出水口連接至保安過濾器13進(jìn)水端，保安過濾器13出水端連接至一級脫鹽膜處理系統(tǒng)14進(jìn)水端，一級脫鹽膜處理系統(tǒng)14濃水出水端連接至殺菌還原水池20進(jìn)水端，殺菌還原水池20出水端連接至排放監(jiān)測水池21，一級脫鹽膜處理系統(tǒng)14產(chǎn)水出水端連接至一級產(chǎn)水水箱15進(jìn)水端，一級產(chǎn)水水箱15出水端連接至二級高壓泵16進(jìn)水口，二級高壓泵16出水口連接至二

級脫鹽膜處理系統(tǒng)17進(jìn)水端，二級脫鹽膜處理系統(tǒng)17產(chǎn)水出水端連接至回用水箱18進(jìn)水端，回用水箱18出水端安裝有回用提升泵19，二級脫鹽膜處理系統(tǒng)17濃水出水端連接至膜濾水箱10。

45.所述高效集成反應(yīng)沉淀池3的排泥口連接至污泥處理系統(tǒng)22，所述污泥處理系統(tǒng)22包括排泥泵221、污泥儲池222、進(jìn)泥泵223、污泥壓濾系統(tǒng)224、污泥干化系統(tǒng)225，所述高效集成反應(yīng)沉淀池3的排泥口連接至排泥泵221進(jìn)口，排泥泵221出口連接至污泥儲池222進(jìn)泥端，污泥儲池222出泥端連接至進(jìn)泥泵223進(jìn)口，進(jìn)泥泵223出口連接至污泥壓濾系統(tǒng)224進(jìn)泥端，污泥壓濾系統(tǒng)224出泥后運(yùn)送至污泥干化系統(tǒng)225，污泥壓濾系統(tǒng)224濾液出口連接至廢水收集池1。

46.所述高效集成反應(yīng)沉淀池3包括酸堿反應(yīng)池23、絮凝反應(yīng)池24和沉淀池25，其中，酸堿反應(yīng)池23、絮凝反應(yīng)池24上裝有在線ph計(jì)26和高效沉淀加藥系統(tǒng)27。所述高效沉淀加藥系統(tǒng)27投加的藥劑包括naoh、氯化鈣、重捕劑、聚合氯化鋁鐵。

47.所述酸堿調(diào)節(jié)緩沖池4上裝有在線ph計(jì)26、酸堿加藥系統(tǒng)28，通過所述在線ph計(jì)26調(diào)控加藥量，使所述酸堿調(diào)節(jié)緩沖池4出水ph為6～7。所述酸堿加藥系統(tǒng)28投加的藥劑為h2so4、naoh。

48.所述保安過濾器13采用聚丙烯材質(zhì)的pp濾芯，濾芯孔徑選用為5微米。

49.所述膜濾系統(tǒng)10是一種壓力驅(qū)動的凈化工藝，可將顆粒物質(zhì)與可溶性組分分離，采用聚偏氟乙烯材質(zhì)的外壓式中空纖維膜，公稱孔徑為0.03微米，使用壓力為0.01～0.3mpa，適用ph為2～11，耐受溫度為1～40℃，采用全流過濾模式。

50.所述一級脫鹽膜處理系統(tǒng)14和所述二級脫鹽膜處理系統(tǒng)17采用卷式聚酰胺復(fù)合膜，公稱孔徑為《1nm，使用壓力為2～200mpa，適用ph為2～11，耐受溫度為1～45℃。

51.所述殺菌還原水池20上裝有殺菌加藥系統(tǒng)29，所述殺菌加藥系統(tǒng)29投加的藥劑為次氯酸鈉。

52.所述排放監(jiān)測水池21上裝有在線監(jiān)測儀器30，所述在線監(jiān)測儀器30包括在線ph計(jì)、在線氨氮檢測儀、在線f-檢測儀、在線cod檢測儀。

53.本發(fā)明的第一實(shí)施例的工作過程時(shí)這樣實(shí)現(xiàn)的：金屬硅化物boe刻蝕廢水進(jìn)入所述廢水收集池1后，通過所述提升泵2定量泵送至所述高效集成反應(yīng)沉淀池3，通過所述高效沉淀加藥系統(tǒng)27投加藥劑，反應(yīng)沉淀后自流至所述酸堿調(diào)節(jié)緩沖池4，通過所述酸堿加藥系統(tǒng)28投加藥劑，調(diào)節(jié)ph至8～9后廢水通過所述過濾增壓泵5依次泵至所述砂濾器6和炭濾器7，過濾后的廢水自流至所述過濾水箱8，通過所述膜濾增壓泵9泵送至膜濾處理系統(tǒng)10，出水自流至所述膜濾水箱11，所述膜濾水箱11出水通過所述一級高壓泵12泵送至所述保安過濾器13、一級脫鹽膜處理系統(tǒng)14，所述一級脫鹽膜處理系統(tǒng)14濃水出水自流至殺菌還原池20，通過所述殺菌加藥系統(tǒng)29投加藥劑，殺菌后自流至所述排放監(jiān)測水池21，所述一級脫鹽膜處理系統(tǒng)14產(chǎn)水出水端自流至所述一級產(chǎn)水水箱15，一級產(chǎn)水通過所述二級高壓泵16泵送至所述二級脫鹽膜處理系統(tǒng)17，所述二級脫鹽膜處理系統(tǒng)17濃水回流至所述膜濾水箱11，所述二級脫鹽膜處理系統(tǒng)17產(chǎn)水出水自流至所述回用水箱18，回用水通過所述回用提升泵19泵送至各回用點(diǎn)。

54.所述高效集成反應(yīng)沉淀池3產(chǎn)生的污泥通過所述排泥泵221泵送至所述污泥儲池222，所述污泥儲池222中的污泥通過所述進(jìn)泥泵223泵送至所述污泥壓濾系統(tǒng)224，壓成泥

餅后運(yùn)送至所述污泥干化系統(tǒng)225進(jìn)行干化后委外處置，所述污泥壓濾系統(tǒng)224濾液回流至所述廢水收集池1。

55.某光伏行業(yè)金屬硅化物刻蝕boe廢水，原水水量為50m3/h，原水水質(zhì)為f-為170mg/l，nh

3-n為60mg/l，cu

2+

為20mg/l，自生產(chǎn)車間進(jìn)入本實(shí)施例1，經(jīng)本實(shí)施例1處理后，排放水水量為20m3/h，水質(zhì)為f-為18mg/l，nh

3-n為24mg/l，cu

2+

為1.1mg/l。回用水水量為30m3/h，水質(zhì)為f-為0.1mg/l，nh

3-n為1.6mg/l，cu

2+

為0.1mg/l。

56.實(shí)施例2

57.如圖3-5所示，本發(fā)明的第二實(shí)施例為了提高第一實(shí)施例中回用水的產(chǎn)水率及脫鹽率、實(shí)現(xiàn)廢水零排，將所述一級脫鹽膜處理系統(tǒng)14可設(shè)置為分段系統(tǒng)，共分3段，上一段處理系統(tǒng)濃水出水口與下一段處理系統(tǒng)進(jìn)水口相連，最終段濃水通過蒸發(fā)結(jié)晶增壓泵31連接至蒸發(fā)結(jié)晶系統(tǒng)32，處理后的冷凝水回流至所述膜濾水箱11，結(jié)晶或廢液委外處置，從而實(shí)現(xiàn)重金屬廢水零排。各段處理系統(tǒng)產(chǎn)水匯總后通過所述一級脫鹽膜處理系統(tǒng)14產(chǎn)水出水端進(jìn)入所述一級產(chǎn)水水箱15進(jìn)行后續(xù)處理。在所述二級脫鹽膜處理系統(tǒng)17產(chǎn)水端與所述回用水箱18中間可增設(shè)連續(xù)電除鹽系統(tǒng)33，所述二級脫鹽膜處理系統(tǒng)17產(chǎn)水進(jìn)入二級產(chǎn)水水箱34，通過電除鹽增壓泵35泵送至連續(xù)電除鹽系統(tǒng)33，出水自流至回用水箱18，回用水通過所述回用提升泵19泵送至各回用點(diǎn)。

58.處理后，回用水水量為50m3/h，水質(zhì)為f-為0.9μg/l，nh

3-n為0.5mg/l，cu

2+

為0.2μg/l，電阻率可達(dá)到18mω.cm，無排放水。

59.本發(fā)明適用于不同水質(zhì)水量的廢水，對污染物去除率高，廢水回用效率高，廢水排放量少。運(yùn)行成本低、占地面積小、投資成本低，系統(tǒng)操作簡便，運(yùn)行穩(wěn)定。處理后的產(chǎn)水循環(huán)利用，既節(jié)約資源，又減少了污染物排放。

60.以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出：對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。技術(shù)特征：

1.一種金屬硅化物boe刻蝕廢水零排放處理裝置，其特征在于：包括廢水收集池(1)、高效集成反應(yīng)沉淀池(3)、酸堿調(diào)節(jié)緩沖池(4)、砂濾器(6)、炭濾器(7)、過濾水箱(8)、膜濾系統(tǒng)(10)、膜濾水箱(11)、保安過濾器(13)、一級脫鹽膜處理系統(tǒng)(14)，其中：所述廢水收集池(1)的出水端與高效集成反應(yīng)沉淀池(3)的進(jìn)水端連接，高效集成反應(yīng)沉淀池(3)的出水端連接至酸堿調(diào)節(jié)緩沖池(4)的進(jìn)水端，酸堿調(diào)節(jié)緩沖池(4)的出水端通過過濾增壓泵(5)與砂濾器(6)的進(jìn)水端連接，砂濾器(6)的出水端連接至炭濾器(7)的進(jìn)水端，炭濾器(7)的出水端連接至過濾水箱(8)的進(jìn)水端，過濾水箱(8)的出水端通過膜濾增壓泵(9)與膜濾系統(tǒng)(10)的進(jìn)水端連接，膜濾系統(tǒng)(10)的出水端連接至膜濾水箱(11)的進(jìn)水端，膜濾水箱(11)的出水端通過一級高壓泵(12)與保安過濾器(13)的進(jìn)水端連接，保安過濾器(13)的出水端連接至一級脫鹽膜處理系統(tǒng)(14)的進(jìn)水端；所述一級脫鹽膜處理系統(tǒng)(14)的濃水出水端、殺菌還原水池(20)、排放監(jiān)測水池(21)依次連接，所述一級脫鹽膜處理系統(tǒng)(14)的產(chǎn)水出水端、一級產(chǎn)水水箱(15)、二級高壓泵(16)、二級脫鹽膜處理系統(tǒng)(17)依次連接；所述二級脫鹽膜處理系統(tǒng)(17)的濃水出水端與膜濾水箱(10)連接，所述二級脫鹽膜處理系統(tǒng)(17)的產(chǎn)水出水端與回用水箱(18)連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述金屬硅化物boe刻蝕廢水零排放處理裝置，其特征在于：所述一級脫鹽膜處理系統(tǒng)(14)為分段第一處理系統(tǒng)，上一段第一處理系統(tǒng)濃水出水口與下一段第一處理系統(tǒng)進(jìn)水口相連，最終段第一處理系統(tǒng)的濃水通過所述一級脫鹽膜處理系統(tǒng)(14)的濃水出水端進(jìn)入所述殺菌還原水池(20)；各段第一處理系統(tǒng)的產(chǎn)水匯總后通過所述一級脫鹽膜處理系統(tǒng)(14)的產(chǎn)水出水端進(jìn)入一級產(chǎn)水水箱(15)；所述二級脫鹽膜處理系統(tǒng)(17)為分段第二處理系統(tǒng)，上一段第二處理系統(tǒng)濃水出水口與下一段第二處理系統(tǒng)進(jìn)水口相連，最終段第二處理系統(tǒng)的濃水通過二級脫鹽膜處理系統(tǒng)(17)的濃水出水端進(jìn)入膜濾水箱(10)；各段第二處理系統(tǒng)的產(chǎn)水匯總后通過二級脫鹽膜處理系統(tǒng)(17)的產(chǎn)水出水端進(jìn)入回用水箱(18)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述金屬硅化物boe刻蝕廢水零排放處理裝置，其特征在于：所述一級脫鹽膜處理系統(tǒng)(14)濃水出水端通過蒸發(fā)結(jié)晶增壓泵(31)連接至蒸發(fā)結(jié)晶系統(tǒng)(32)，蒸發(fā)結(jié)晶系統(tǒng)(32)處理后的冷凝水回流至所述膜濾水箱(11)，蒸發(fā)結(jié)晶系統(tǒng)(32)處理后的結(jié)晶或廢液委外處置，從而實(shí)現(xiàn)廢水零排；所述二級脫鹽膜處理系統(tǒng)(17)產(chǎn)水端與所述回用水箱(18)之間設(shè)置有依次連接的二級產(chǎn)水水箱(34)、電除鹽增壓泵(35)、連續(xù)電除鹽裝置(33)。4.根據(jù)權(quán)利要求5所述金屬硅化物boe刻蝕廢水零排放處理裝置，其特征在于：所述高效集成反應(yīng)沉淀池(3)的排泥口連接有污泥處理系統(tǒng)(22)；所述污泥處理系統(tǒng)(22)包括依次連接的排泥泵(221)、污泥儲池(222)、進(jìn)泥泵(223)、污泥壓濾系統(tǒng)(224)、污泥干化系統(tǒng)(225)，所述污泥壓濾裝置(224)的濾液出口連接至廢水收集池(1)。5.根據(jù)權(quán)利要求6所述金屬硅化物boe刻蝕廢水零排放處理裝置，其特征在于：所述高效集成反應(yīng)沉淀池(3)包括酸堿反應(yīng)池(23)、絮凝反應(yīng)池(24)、沉淀池(25)、高效沉淀加藥系統(tǒng)(27)，所述酸堿反應(yīng)池(23)、絮凝反應(yīng)池(24)和沉淀池(25)依次連接，所述高效沉淀加藥系統(tǒng)(27)設(shè)置于酸堿反應(yīng)池(23)、絮凝反應(yīng)池(24)上，所述酸堿反應(yīng)池(23)上設(shè)置有在線ph計(jì)一(261)。6.根據(jù)權(quán)利要求7所述金屬硅化物boe刻蝕廢水零排放處理裝置，其特征在于：所述酸

堿調(diào)節(jié)緩沖池(4)上裝有在線ph計(jì)二(262)、酸堿加藥系統(tǒng)(28)；所述殺菌還原水池(20)上裝有殺菌加藥系統(tǒng)(29)；所述排放監(jiān)測水池(21)上裝有在線監(jiān)測儀器(30)。7.根據(jù)權(quán)利要求8所述金屬硅化物boe刻蝕廢水零排放處理裝置，其特征在于：所述保安過濾器(13)采用聚丙烯材質(zhì)的pp濾芯，保安過濾器(13)濾芯孔徑為0.5-6微米。8.根據(jù)權(quán)利要求9所述金屬硅化物boe刻蝕廢水零排放處理裝置，其特征在于：所述膜濾系統(tǒng)(10)為聚偏氟乙烯材質(zhì)的外壓式中空纖維膜濾系統(tǒng)；所述一級脫鹽膜處理系統(tǒng)(14)和二級脫鹽膜處理系統(tǒng)(17)采用卷式聚酰胺復(fù)合膜，公稱孔徑<1nm，使用壓力為2～200mpa，適用ph為2～11，耐受溫度為1～45℃。9.一種基于權(quán)利要求1所述的金屬硅化物boe刻蝕廢水零排放處理裝置的處理方法，其特征在于，包括以下步驟：步驟1，金屬硅化物boe刻蝕廢水進(jìn)入廢水收集池(1)后，定量輸送金屬硅化物boe刻蝕廢水至高效集成反應(yīng)沉淀池(3)；步驟2，通過高效沉淀加藥系統(tǒng)(27)向高效集成反應(yīng)沉淀池(3)投加高效沉淀反應(yīng)藥劑進(jìn)行反應(yīng)沉淀，通過在線ph計(jì)一(261)控制高效沉淀反應(yīng)藥劑的用量，使得廢水在高效集成反應(yīng)沉淀池(3)進(jìn)行充分反應(yīng)，高效集成反應(yīng)沉淀池(3)中反應(yīng)沉淀后的廢水輸送至酸堿調(diào)節(jié)緩沖池(4)；高效集成反應(yīng)沉淀池(3)產(chǎn)生的污泥通過排泥泵(221)泵送至污泥儲池(222)，所述污泥儲池(222)中的污泥通過進(jìn)泥泵(223)泵送至污泥壓濾系統(tǒng)(224)，壓成泥餅后運(yùn)送至污泥干化系統(tǒng)(225)進(jìn)行干化后委外處置，所述污泥壓濾系統(tǒng)(224)濾液回流至所述廢水收集池(1)內(nèi)；步驟3，通過酸堿加藥系統(tǒng)(28)向酸堿調(diào)節(jié)緩沖池(4)內(nèi)投加ph調(diào)節(jié)藥劑，通過酸堿調(diào)節(jié)緩沖池(4)上的在線ph計(jì)二(262)控制ph調(diào)節(jié)藥劑用量，調(diào)節(jié)酸堿調(diào)節(jié)緩沖池(4)的出水ph至8～9；然后將ph調(diào)節(jié)好的廢水通過過濾增壓泵(5)泵入砂濾器(6)，砂濾器(6)過濾后的廢水進(jìn)入炭濾器(7)過濾，炭濾器(7)過濾后的廢水輸送至過濾水箱(8)；步驟4，所述過濾水箱(8)內(nèi)的廢水通過膜濾增壓泵(9)泵送至膜濾處理系統(tǒng)(10)，膜濾處理系統(tǒng)(10)的過濾后的廢水送入膜濾水箱(11)；步驟5，所述膜濾水箱(11)的出水通過一級高壓泵(12)泵送至保安過濾器(13)，之后進(jìn)入到一級脫鹽膜處理系統(tǒng)(14)；步驟6，所述一級脫鹽膜處理系統(tǒng)(14)濃水出水端的濃水輸送至殺菌還原池(20)，通過殺菌加藥系統(tǒng)(29)向殺菌還原池(20)投加殺菌藥劑，殺菌后輸送至排放監(jiān)測水池(21)；所述一級脫鹽膜處理系統(tǒng)(14)產(chǎn)水出水端的產(chǎn)水輸送至一級產(chǎn)水水箱(15)，一級產(chǎn)水水箱(15)內(nèi)的一級產(chǎn)水通過二級高壓泵(16)泵送至二級脫鹽膜處理系統(tǒng)(17)；步驟7，所述二級脫鹽膜處理系統(tǒng)(17)的濃水出水端的濃水回流至膜濾水箱(11)，所述二級脫鹽膜處理系統(tǒng)(17)的產(chǎn)水出水端產(chǎn)水輸送至回用水箱(18)；回用水箱(18)內(nèi)的回用水通過回用提升泵(19)泵送至各回用點(diǎn)。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述處理方法，其特征在于：高效沉淀反應(yīng)藥劑包括堿液、除氟劑、重捕劑、鐵鹽絮凝劑中的一種或者兩種以上的混合物；ph調(diào)節(jié)藥劑為hcl、h2so4、naoh、koh一種或者兩種以上的混合物。

技術(shù)總結(jié)

本發(fā)明公開了一種金屬硅化物BOE刻蝕廢水零排放處理裝置及方法，包括廢水收集池、高效集成反應(yīng)沉淀池、酸堿調(diào)節(jié)緩沖池、膜濾系統(tǒng)、一級脫鹽膜處理系統(tǒng)、二級脫鹽膜處理系統(tǒng)；一級脫鹽膜處理系統(tǒng)濃水出水端可通過蒸發(fā)結(jié)晶增壓泵連接至蒸發(fā)結(jié)晶裝置，處理后的冷凝水回流至所述膜濾水箱，結(jié)晶或廢液委外處置，從而實(shí)現(xiàn)廢水零排。二級脫鹽膜處理系統(tǒng)產(chǎn)水端與所述回用水箱之間增設(shè)連續(xù)電除鹽裝置，從而提高脫鹽率。本發(fā)明適用于不同水質(zhì)水量的廢水，對污染物去除率高，廢水回用效率高，廢水排放量少；處理后的產(chǎn)水循環(huán)利用，既節(jié)約資源，又減少了污染物排放。污染物排放。污染物排放。

技術(shù)研發(fā)人員：許婷 戴美新 陳劍平 袁香 張子種

受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇道同環(huán)境科技有限公司

技術(shù)研發(fā)日：2022.04.11

技術(shù)公布日：2022/8/5