權(quán)利要求書： 1.一種基于氧化鋁/錳酸鑭膜基結(jié)構(gòu)的光吸收體，其特征在于，所述光吸收體的基體材質(zhì)為錳酸鑭基鈣鈦礦陶瓷材料，具有從外到內(nèi)孔隙梯度的5層結(jié)構(gòu)特征，其中第一和第五層為LaMnO3致密陶瓷，第二和第四層為多孔的鈣摻雜La1?xCaxMnO3陶瓷，第三層為多孔的鋰摻雜La1?yLiyMnO3陶瓷，其孔為微米級(jí)大孔且鋰摻雜La1?yLiyMnO3陶瓷的多孔孔徑大于鈣摻雜La1?xCaxMnO3陶瓷的多孔孔徑；各層厚度為0.05?0.2mm，總厚度為0.5?1mm；所述光吸收體的膜材質(zhì)為氧化鋁陶瓷，厚度為50?200nm。

2.如權(quán)利要求1所述的一種基于氧化鋁/錳酸鑭膜基結(jié)構(gòu)的光吸收體，其特征在于，鈣摻雜La1?xCaxMnO3陶瓷中Ca摻雜量x為0.3～0.7，鋰摻雜La1?yLiyMnO3陶瓷中Li摻雜量y為0.3～0.7。

3.如權(quán)利要求1所述的一種基于氧化鋁/錳酸鑭膜基結(jié)構(gòu)的光吸收體，其特征在于，光吸收體的氧化鋁膜和錳酸鑭之間有納米過渡層。

4.如權(quán)利要求1所述的一種基于氧化鋁/錳酸鑭膜基結(jié)構(gòu)的光吸收體的制備方法，其特征在于，具體步驟如下：

(1)固相法合成寬光譜高吸收的錳酸鑭基陶瓷粉體：將氧化鑭、碳酸鈣、碳酸鋰、氧化錳粉末按化學(xué)計(jì)量比進(jìn)行混料后固相燒結(jié)，再經(jīng)球磨、過篩分別得到錳酸鑭LaMnO3、鈣摻雜錳酸鑭La1?xCaxMnO3和鋰摻雜錳酸鑭La1?yLiyMnO3粉末；

(2)制備孔隙梯度五層結(jié)構(gòu)錳酸鑭基片：先將上述三種粉末分別與聚乙烯醇溶液混合均勻，過篩，得到造粒后的粉末；然后將造粒后的粉末依此均勻平鋪于熱壓模具中，并在一定模壓條件下得到生坯；再在氬氣環(huán)境下高溫?zé)Y(jié)，即得到表層致密、中間多孔的孔隙梯度錳酸鑭陶瓷體；

(3)鍍制致密Al2O3膜：采用鍍膜技術(shù)在孔隙梯度錳酸鑭陶瓷體表面鍍制致密Al2O3膜；

(4)在空氣爐中熱處理，于膜基界面處產(chǎn)生過渡層。

5.如權(quán)利要求4所述的一種基于氧化鋁/錳酸鑭膜基結(jié)構(gòu)的光吸收體的制備方法，其特征在于，步驟(1)中，所述的固相燒結(jié)工藝為：燒結(jié)溫度為1000～1200℃，升溫速度為5℃/min，保溫時(shí)間為2～5h；以300轉(zhuǎn)/min的速度球磨24～48h，球料重量比3:1。

6.如權(quán)利要求4所述的一種基于氧化鋁/錳酸鑭膜基結(jié)構(gòu)的光吸收體的制備方法，其特征在于，步驟(2)中，過篩指過200目篩，聚乙烯醇溶液中聚乙烯醇與聚乙烯醇溶液的質(zhì)量比為5～10％，聚乙烯醇溶液與陶瓷粉末的重量比為8～10％；熱壓模具直徑30mm；各層的粉末重量在0.2?0.8g之間，并在10～15MPa的模壓下保壓5～10min得到生坯；再在氬氣氣氛下10～20kPa壓力、1400～1500℃下燒結(jié)2～4h，即得到表層致密中間多孔的孔隙梯度錳酸鑭陶瓷體。

7.如權(quán)利要求4所述的一種基于氧化鋁/錳酸鑭膜基結(jié)構(gòu)的光吸收體的制備方法，其特征在于，步驟(3)中，致密Al2O3膜的厚度為50?200nm，鍍膜技術(shù)為真空蒸鍍、脈沖激光沉積、原子層沉積和磁控濺射技術(shù)中的一種。

8.如權(quán)利要求4所述的一種基于氧化鋁/錳酸鑭膜基結(jié)構(gòu)的光吸收體的制備方法，其特征在于，步驟(4)中，熱處理的工藝參數(shù)為：在500～1000℃，保溫5～30min。

說明書： 一種基于氧化鋁/錳酸鑭膜基結(jié)構(gòu)的光吸收體及其制備方法技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本發(fā)明涉及一種基于氧化鋁/錳酸鑭膜基結(jié)構(gòu)的光吸收體及其制備方法，該膜基結(jié)構(gòu)具有耐激光損傷、寬光譜高吸收、抗高溫?zé)嵴鸬奶攸c(diǎn)，可應(yīng)用于激光能量計(jì)、激光功率計(jì)和熱輻射探測器等光熱轉(zhuǎn)換領(lǐng)域的元器件。背景技術(shù)[0002] 對(duì)于大功率激光的測量，多以熱電堆型激光功率計(jì)/能量計(jì)為主，其測試原理主要是利用其探頭中光吸收體吸收入射激光的光能，將光能轉(zhuǎn)化成熱能，光吸收體中央和邊緣兩端形成溫度梯度場，探頭中熱電材料由此產(chǎn)生溫差電動(dòng)勢，電動(dòng)勢的大小取決于激光轉(zhuǎn)化的熱能的大小。因此，探頭中光吸收體的光吸收性能、耐激光損傷性能和抗熱震性能將直接決定激光功率計(jì)/能量計(jì)測試的響應(yīng)強(qiáng)度以及測試激光波長功率大小，是熱電堆型激光功率計(jì)/能量計(jì)探測器的核心部件。[0003] 目前，熱電堆型激光功率計(jì)/能量計(jì)探頭的光吸收材料(包括薄膜和塊體)，主要包括金屬納米材料(如金黑、銀黑、鐵黑等)、碳材料、硫化物、碳化物、氮化物、光學(xué)玻璃等。然而，這些材料的吸收波長范圍較窄(大多處于0.2～2.5μm)，且在高溫富氧環(huán)境(≥1000℃)中容易失效。而在高溫富氧環(huán)境下光吸收材料多為金屬氧化物及其復(fù)合氧化物材料，例如，文獻(xiàn)“LuY,etal.HighthermalradiationofCa?dopedlanthanumchromite,RSCAdvances,2015,5:30667.”通過固相反應(yīng)法制備了鈣摻雜鉻酸鑭系列陶瓷，La0.5Ca0.5CrO3的光吸收性能最佳，其太陽能吸收率達(dá)到95％。文獻(xiàn)“賀智勇等，(Ca,Fe)共摻鈰酸鑭陶瓷的近紅外吸收性能,硅酸鹽學(xué)報(bào)，2016，44:387–391.”通過高溫固相燒結(jié)工藝制備鈣鐵共摻的鈰酸鑭系列紅外吸收陶瓷，當(dāng)Ca引入量x為0.1、Fe引入量y為0.15時(shí)，樣品近紅外吸收性能較優(yōu)，在750～2500nm波段的平均吸收率為88.7％。這些文獻(xiàn)與本申請(qǐng)相比，其材料和結(jié)構(gòu)均顯著不同，如未采用錳酸鑭作為光吸收體基體材料，其結(jié)構(gòu)也沒有呈現(xiàn)孔隙梯度特征，更沒有膜基結(jié)構(gòu)。[0004] 盡管有人也采用LaMnO3作為光吸收材料，如文獻(xiàn)“ZhangPX,etal.LaCaMnO3thinfilmlaserenergy/powermeter,Optics&LaserTechnology,2004,36:341–343.”是采用脈沖激光沉積法將La1?xCaxMnO3(0.05≤x≤0.33)沉積在LaAlO3襯底上制備得到La1?xCaxMnO3薄膜作為激光功率計(jì)和能量計(jì)的光吸收層。與本申請(qǐng)相比，其La1?xCaxMnO3為致密薄膜，與本申請(qǐng)的錳酸鑭基孔隙梯度塊體材料相比，存在形式與制備方法均有明顯不同，且在膜基結(jié)構(gòu)界面也沒有過渡層。文獻(xiàn)“AfifahN,etal.EnhancementofphotoresponsetoultravioletregionbycouplingperovskiteLaMnO3withTiO2nanoparticles,InternationalSymposiumonCurrentProgressinFunctionalMaterials,2017,188:012060.”采用溶膠?凝膠法制備了不同LaMnO3/TiO2摩爾比的LaMnO3/TiO2納米復(fù)合材料，有效提高了材料在紫外光區(qū)吸收率。與本申請(qǐng)相比，其LaMnO3為納米粉體而且為復(fù)合材料，與本申請(qǐng)錳酸鑭基孔隙梯度塊體材料相比，無論從材料組成、結(jié)構(gòu)還是制備方法均不相同，也沒有膜基結(jié)構(gòu)。

[0005] 激光對(duì)光學(xué)薄膜元件的破壞是影響高功率激光學(xué)薄膜元件使用壽命的主要原因，因此提高光學(xué)薄膜的抗激光損傷特性尤為重要。一般來說，抗激光損傷材料主要是陶瓷，特別是氧化物陶瓷材料，如文獻(xiàn)“李兆巖等，工程陶瓷表面抗激光損傷能力研究，光子學(xué)報(bào)，2017，46:1014003?！毖芯苛搜趸?ZrO2)、氧化鋁(Al2O3)、氮化硅陶瓷(Si3N4)、滑石瓷(MgO/SiO2)、304不銹鋼(Fe/C/Cr)、5052鋁合金(Al/Mg/Cu)材料在納秒激光輻照下的抗激光損傷能力，結(jié)果表明氧化鋁陶瓷的抗激光損傷閾值最高。故選擇氧化鋁材料的作為膜基結(jié)構(gòu)耐激光損傷的薄膜。目前，Al2O3薄膜制備技術(shù)包括物理氣相沉積、熱蒸發(fā)沉積、磁控濺射、離子束輔助沉積、脈沖激光沉積、等離子體弧鍍、化學(xué)氣相沉積、溶膠?凝膠、陽極氧化等，如文獻(xiàn)“劉志超等，ALD氧化鋁單層膜1064nm激光損傷特性研究，應(yīng)用光學(xué)，2011，32:373?376.”采用原子層沉積技術(shù)在熔石英和BK7基片鍍制了50nm厚的Al2O3薄膜。與本申請(qǐng)相比，均未在孔隙梯度錳酸鑭陶瓷襯底上鍍制致密Al2O3陶瓷薄膜，且膜基界面也沒有過渡層。

[0006] 總之，上述文獻(xiàn)與本申請(qǐng)相比，除了與激光功率計(jì)/能量計(jì)用光吸收體存在的形式、材料以及具體制備方法與本發(fā)明的膜基結(jié)構(gòu)不同外，上述文獻(xiàn)中光吸收體也沒有呈現(xiàn)均勻的梯度多孔結(jié)構(gòu)，也未在光吸收體表面采用鍍制Al2O3膜。本申請(qǐng)由于設(shè)計(jì)制備了含Al2O3薄膜、LaMnO3基孔隙梯度陶瓷體，及其中間過渡層的膜基結(jié)構(gòu)光吸收體，具有耐激光損傷、寬光譜高吸收、且抗高溫?zé)嵴鸬木C合優(yōu)點(diǎn)。發(fā)明內(nèi)容[0007] 本發(fā)明的目的是針對(duì)現(xiàn)有激光功率計(jì)/能量計(jì)光吸收體吸收范圍窄、吸收率低、不耐激光損傷、耐高溫抗熱震性能不佳的問題，旨在提供一種在0.2～20μm光譜范圍內(nèi)高吸收、耐激光損傷、耐高溫?zé)嵴鸬哪せY(jié)構(gòu)，以及一種基于氧化鋁/錳酸鑭膜基結(jié)構(gòu)的光吸收體及其制備方法。[0008] 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明是采取如下具體技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)，[0009] 一種基于氧化鋁/錳酸鑭膜基結(jié)構(gòu)的光吸收體，其特征在于，所述光吸收體的基體材質(zhì)為錳酸鑭基鈣鈦礦陶瓷材料，具有從外到內(nèi)孔隙梯度的5層結(jié)構(gòu)特征，其中第一和第五層為LaMnO3致密陶瓷，第二和第四層為多孔的鈣摻雜La1?xCaxMnO3陶瓷，第三層為多孔的鋰摻雜La1?yLiyMnO3陶瓷，其孔為微米級(jí)大孔且鋰摻雜La1?yLiyMnO3陶瓷的多孔孔徑大于鈣摻雜La1?xCaxMnO3陶瓷的多孔孔徑；各層厚度為0.05?0.2mm，總厚度為0.5?1mm；所述光吸收體的膜材質(zhì)為氧化鋁陶瓷，厚度為50?200nm。[0010] 所述光吸收體的制備方法，包括如下步驟:[0011] (1)固相法合成寬光譜高吸收的錳酸鑭基陶瓷粉體：將氧化鑭、碳酸鈣、碳酸鋰、氧化錳粉末分別按LaMnO3、La1?xCaxMnO3和La1?yLiyMnO3的化學(xué)計(jì)量比(0.3≤x≤0.7，0.3≤y≤0.7)進(jìn)行混料后固相燒結(jié)(燒結(jié)溫度為1000～1200℃，升溫速度為5℃/min，保溫時(shí)間為2～

5h)，再經(jīng)以300轉(zhuǎn)/min的速度，球料重量比3:1球磨24～48h、過篩分別得到錳酸鑭、對(duì)應(yīng)的鈣摻雜錳酸鑭和鋰摻雜錳酸鑭粉末；固相法合成中的配比用于光吸收體的鑭系鈣鈦礦陶瓷是創(chuàng)新之處。

[0012] (2)制備孔隙梯度五層結(jié)構(gòu)錳酸鑭基片：先將上述三種粉末與聚乙烯醇溶液混合均勻，過200目篩，得到造粒后的粉末；其中聚乙烯醇溶液中聚乙烯醇與聚乙烯醇溶液的重量比為5～10％，聚乙烯醇溶液與陶瓷粉末的重量比為8～10％；然后將造粒后的粉末依次均勻平鋪于 的熱壓模具中，第一和第五層為LaMnO3，第二和第四層為La1?xCaxMnO3，第三層為La1?yLiyMnO3，其中各層的粉末重量在0.2?0.8g之間，并在10～15MPa的模壓下保壓5～10min得到生坯；再在在氬氣氣氛下10～20kPa壓力、1400～1500℃下燒結(jié)2～4h，即得到表層致密中間多孔的孔隙梯度錳酸鑭陶瓷體，其中各層厚度為0.05?0.2mm，總厚度為0.5?

1mm；

[0013] (3)鍍制致密Al2O3膜：采用真空蒸鍍、脈沖激光沉積、原子層沉積或磁控濺射技術(shù)，在孔隙梯度錳酸鑭陶瓷表面鍍制50?200nm厚的致密Al2O3膜；[0014] (4)在空氣爐中熱處理：將上述膜基結(jié)構(gòu)置于空氣爐中，在500～1000℃，保溫5～30min，于膜基界面處產(chǎn)生過渡層。

[0015] 本發(fā)明與當(dāng)前激光功率計(jì)/能量計(jì)光吸收體對(duì)比的有益效果在于:(1)由于采用致密錳酸鑭陶瓷作為膜基結(jié)構(gòu)基體材料的最外層，可在其表面實(shí)現(xiàn)致密Al2O3薄膜的鍍制，同時(shí)兼具有優(yōu)良的寬光譜光吸收性能和耐高溫性；(2)由于采用網(wǎng)狀多孔的錳酸鑭基陶瓷材料作為膜基結(jié)構(gòu)基體材料的中間層，使得該膜基結(jié)構(gòu)具有優(yōu)良的抗高溫?zé)嵴鹦裕粌?yōu)異的抗熱震性歸功于基材之間形成的網(wǎng)狀多孔結(jié)構(gòu)和梯度過渡層。孔隙率的增加可以降低材料的彈性模量，同時(shí)在冷卻過程中熱殘余應(yīng)力可以通過孔洞釋放；另一方面，梯度過渡層可以消除基材各層界面的熱膨脹系數(shù)和熱導(dǎo)率的突變，從而提高高溫抗熱震性能；(3)由于該膜基結(jié)構(gòu)表面鍍制了50～200nm厚度的致密Al2O3薄膜，可顯著提高基體材料的抗激光損傷性能。附圖說明[0016] 構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的附圖用來提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，本發(fā)明的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的不當(dāng)限定。[0017] 圖1為本發(fā)明所述的膜基結(jié)構(gòu)光吸收體的剖面示意圖。[0018] 圖2為本發(fā)明所述的第一、五層LaMnO3試樣掃描電鏡照片。[0019] 圖3為本發(fā)明所述的第二、四層La0.5Ca0.5MnO3掃描電鏡照片。[0020] 圖4為本發(fā)明所述的第三層La0.5Li0.5MnO3掃描電鏡照片。[0021] 圖5為本發(fā)明所述的LaMnO3試樣在0.2～20μm范圍內(nèi)的光吸收率。具體實(shí)施方式[0022] 為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明的技術(shù)方案及其特點(diǎn)，以下結(jié)合附圖1、圖2、圖3、圖4及典型實(shí)施案例，對(duì)依據(jù)本發(fā)明提出的一種激光功率計(jì)/能量計(jì)用膜基結(jié)構(gòu)及其制備方法做出進(jìn)一步說明，其制備步驟包括:(1)固相法合成寬光譜高吸收的錳酸鑭基陶瓷粉體；(2)制備孔隙梯度五層結(jié)構(gòu)錳酸鑭基片；(3)鍍制致密Al2O3膜；(4)在空氣爐中熱處理。值得注意的是，此處所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。[0023] 實(shí)施例1:[0024] (1)首先，通過固相法合成寬光譜高吸收的鑭系鈣鈦礦陶瓷粉體。將氧化鑭、碳酸鈣、碳酸鋰、氧化錳粉末分別按LaMnO3、La0.7Ca0.3MnO3和La0.7Li0.3MnO3的化學(xué)計(jì)量比進(jìn)行混料后固相燒結(jié)(燒結(jié)溫度為1100℃，升溫速度為5℃/min，保溫時(shí)間為3h)，再經(jīng)以300轉(zhuǎn)/min的速度球磨48h、過篩分別得到錳酸鑭、對(duì)應(yīng)的鈣摻雜錳酸鑭和鋰摻雜錳酸鑭粉末；[0025] (2)其次，制備孔隙梯度七層結(jié)構(gòu)鑭系鈣鈦礦陶瓷基片。將上述三種粉末分別與聚乙烯醇溶液混合均勻，過200目篩，得到造粒后的粉末；其中聚乙烯醇溶液中聚乙烯醇與聚乙烯醇溶液的重量比為6％，聚乙烯醇溶液與陶瓷粉末的重量比為9％；然后將造粒后的粉末依次(第一和第五層為LaMnO3，第二和第四層為La0.7Ca0.3MnO3，第三層為La0.7Li0.3MnO3)均勻平鋪于 的熱壓模具中，其中第一和第五層LaMnO3粉末0.2g，第二和第四層La0.7Ca0.3MnO3粉末0.4g，第三層La0.7Li0.3MnO3粉末0.8g，并在12MPa的模壓下保壓9min得到生坯；再在在氬氣氣氛下15kPa、1450℃燒結(jié)3h，即得到表層致密、中間多孔的孔隙梯度錳酸鑭陶瓷體，其中第一和第五層為厚0.05mm、致密的LaMnO3(如圖2)，第二和第四層為厚0.1mm、較小孔的La0.7Ca0.3MnO3，第三層為厚0.2mm、較大孔的La0.7Li0.3MnO3；

[0026] (3)然后，在孔隙梯度陶瓷表面鍍制致密Al2O3膜。采用真空蒸鍍在孔隙梯度錳酸鑭陶瓷表面鍍制200nm厚的Al2O3膜；[0027] (4)最后，在空氣爐中熱處理上述膜基結(jié)構(gòu)。將上述膜基結(jié)構(gòu)置于空氣爐中，在600℃，保溫20min，得到含有界面過渡層的氧化鋁/錳酸鑭膜基結(jié)構(gòu)的光吸收體，示意圖如圖1所示。[0028] 實(shí)施例2:[0029] (1)首先，通過固相法合成寬光譜高吸收的鑭系鈣鈦礦陶瓷粉體。將氧化鑭、碳酸鈣、碳酸鋰、氧化錳粉末分別按LaMnO3、La0.5Ca0.5MnO3和La0.5Li0.5MnO3的化學(xué)計(jì)量比進(jìn)行混料后固相燒結(jié)(燒結(jié)溫度為1100℃，升溫速度為5℃/min，保溫時(shí)間為4h)，再經(jīng)以300轉(zhuǎn)/min的速度球磨24h、過篩分別得到錳酸鑭、對(duì)應(yīng)的鈣摻雜錳酸鑭和鋰摻雜錳酸鑭粉末；[0030] (2)其次，制備孔隙梯度七層結(jié)構(gòu)鑭系鈣鈦礦陶瓷基片。將上述三種粉末分別與聚乙烯醇溶液混合均勻，過200目篩，得到造粒后的粉末；其中聚乙烯醇溶液中聚乙烯醇與聚乙烯醇溶液的重量比為5％，聚乙烯醇溶液與陶瓷粉末的重量比為8％；然后將造粒后的粉末依次(第一和第五層為LaMnO3，第二和第四層為La0.5Ca0.5MnO3，第三層為La0.5Li0.5MnO3)均勻平鋪于 的熱壓模具中，其中第一和第五層LaMnO3粉末0.2g，第二和第四層La0.7Ca0.3MnO3粉末0.8g，第三層La0.7Li0.3MnO3粉末0.8g，并在10MPa的模壓下保壓10min得到生坯；再在在氬氣氣氛下20kPa、1400℃燒結(jié)4h，即得到表層致密、中間多孔的孔隙梯度錳酸鑭陶瓷體，其中第一和第五層為厚0.05mm、致密的LaMnO3(如圖2)，第二和第四層為厚0.2mm、較小孔的La0.5Ca0.5MnO3(如圖3)，第三層為厚0.2mm、較大孔的La0.5Li0.5MnO3(如圖4)；

[0031] (3)然后，在孔隙梯度陶瓷表面鍍制致密Al2O3膜。采用脈沖激光沉積在孔隙梯度錳酸鑭陶瓷表面鍍制50nm厚的Al2O3膜；[0032] (4)最后，在空氣爐中熱處理上述膜基結(jié)構(gòu)。將上述膜基結(jié)構(gòu)置于空氣爐中，在500℃，保溫30min，得到含有界面過渡層的氧化鋁/錳酸鑭膜基結(jié)構(gòu)的光吸收體，示意圖如圖1所示。[0033] 實(shí)施例3:[0034] (1)首先，通過固相法合成寬光譜高吸收的鑭系鈣鈦礦陶瓷粉體。將氧化鑭、碳酸鈣、碳酸鋰、氧化錳粉末分別按LaMnO3、La0.4Ca0.6MnO3和La0.4Li0.6MnO3的化學(xué)計(jì)量比進(jìn)行混料后固相燒結(jié)(燒結(jié)溫度為1000℃，升溫速度為5℃/min，保溫時(shí)間為5h)，再經(jīng)以300轉(zhuǎn)/min的速度球磨36h、過篩分別得到錳酸鑭、對(duì)應(yīng)的鈣摻雜錳酸鑭和鋰摻雜錳酸鑭粉末；[0035] (2)其次，制備孔隙梯度七層結(jié)構(gòu)鑭系鈣鈦礦陶瓷基片。將上述三種粉末分別與聚乙烯醇溶液混合均勻，過200目篩，得到造粒后的粉末；其中聚乙烯醇溶液中聚乙烯醇與聚乙烯醇溶液的重量比為7％，聚乙烯醇溶液與陶瓷粉末的重量比為9％；然后將造粒后的粉末依次(第一和第五層為LaMnO3，第二和第四層為La0.4Ca0.6MnO3，第三層為La0.4Li0.6MnO3)均勻平鋪于 的熱壓模具中，其中第一和第五層LaMnO3粉末0.4g，第二和第四層La0.7Ca0.3MnO3粉末0.8g，第三層La0.7Li0.3MnO3粉末0.8g，并在13MPa的模壓下保壓7min得到生坯；再在在氬氣氣氛下10kPa、1500℃燒結(jié)2h，即得到表層致密、中間多孔的孔隙梯度錳酸鑭陶瓷體，其中第一和第五層為厚0.1mm、致密的LaMnO3(如圖2)，第二和第四層為厚0.2mm、較小孔的La0.4Ca0.6MnO3，第三層為厚0.2mm、較大孔的La0.4Li0.6MnO3；[0036] (3)然后，在孔隙梯度陶瓷表面鍍制致密Al2O3膜。采用原子層沉積技術(shù)在孔隙梯度錳酸鑭陶瓷表面鍍制150nm厚的Al2O3膜；[0037] (4)最后，在空氣爐中熱處理上述膜基結(jié)構(gòu)。將上述膜基結(jié)構(gòu)置于空氣爐中，在700℃，保溫10min，得到含有界面過渡層的氧化鋁/錳酸鑭膜基結(jié)構(gòu)的光吸收體，示意圖如圖1所示。[0038] 實(shí)施例4:[0039] (1)首先，通過固相法合成寬光譜高吸收的鑭系鈣鈦礦陶瓷粉體。將氧化鑭、碳酸鈣、碳酸鋰、氧化錳粉末分別按LaMnO3、La0.3Ca0.7MnO3和La0.3Li0.7MnO3的化學(xué)計(jì)量比進(jìn)行混料后固相燒結(jié)(燒結(jié)溫度為1200℃，升溫速度為5℃/min，保溫時(shí)間為2h)，再經(jīng)以300轉(zhuǎn)/min的速度球磨36h、過篩分別得到錳酸鑭、對(duì)應(yīng)的鈣摻雜錳酸鑭和鋰摻雜錳酸鑭粉末；[0040] (2)其次，制備孔隙梯度七層結(jié)構(gòu)鑭系鈣鈦礦陶瓷基片。將上述三種粉末分別與聚乙烯醇溶液混合均勻，過200目篩，得到造粒后的粉末；其中聚乙烯醇溶液中聚乙烯醇與聚乙烯醇溶液的重量比為10％，聚乙烯醇溶液與陶瓷粉末的重量比為10％；然后將造粒后的粉末依次(第一和第五層為LaMnO3，第二和第四層為La0.3Ca0.7MnO3，第三層為La0.3Li0.7MnO3)均勻平鋪于 的熱壓模具中，其中第一和第五層LaMnO3粉末0.8g，第二和第四層La0.7Ca0.3MnO3粉末0.8g，第三層La0.7Li0.3MnO3粉末0.8g，并在15MPa的模壓下保壓5min得到生坯；再在在氬氣氣氛下15kPa、1500℃燒結(jié)2h，壓力為15kPa，即得到表層、致密中間多孔的孔隙梯度錳酸鑭陶瓷體，其中第一和第五層為厚0.2mm、致密的LaMnO3(如圖2)，第二和第四層為厚0.2mm、較小孔的La0.3Ca0.7MnO3，第三層為厚0.2mm、較大孔的La0.3Li0.7MnO3；其LaMnO3陶瓷在0.2～20μm范圍內(nèi)的光吸收率如圖5所示；[0041] (3)然后，在孔隙梯度陶瓷表面鍍制致密Al2O3膜。采用磁控濺射技術(shù)在孔隙梯度錳酸鑭陶瓷表面鍍制100nm厚的Al2O3膜；[0042] (4)最后，在空氣爐中熱處理上述膜基結(jié)構(gòu)。將上述膜基結(jié)構(gòu)置于空氣爐中，在1000℃，保溫5min，得到含有界面過渡層的氧化鋁/錳酸鑭膜基結(jié)構(gòu)的光吸收體，示意圖如圖1所示。

[0043] 以上所述，僅是本發(fā)明的部分典型案例，并不以此對(duì)本發(fā)明限制，凡是根據(jù)本發(fā)明工藝實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何修改、變更以及等效元素的變換，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的保護(hù)范圍內(nèi)。