權(quán)利要求書： 1.一種圓晶用輸送帶的帶速監(jiān)控裝置，包括輸送帶的側(cè)支架板(1)和輸送帶的帶體(2)，帶體(2)的兩端分別套設(shè)在驅(qū)動(dòng)輥和傳動(dòng)輥(3)上，驅(qū)動(dòng)輥和伺服電機(jī)的轉(zhuǎn)軸相固接，傳動(dòng)輥(3)的兩端成型有鉸接軸(31)，鉸接軸(31)插接在側(cè)支架板(1)上；其特征在于：傳動(dòng)輥(3)上插套固定有摩擦輥套(4)，帶體(2)套設(shè)并抵靠在摩擦輥套(4)上，摩擦輥套(4)的側(cè)端面上成型有凹窩(41)，所述側(cè)支架板(1)上成型有與凹窩(41)相對(duì)的窗口(11)，側(cè)支架板(1)上固定有與窗口(11)相對(duì)的“匚”字形的定支架(5)，定支架(5)上固定有第一計(jì)數(shù)傳感器(6)，第一計(jì)數(shù)傳感器(6)的探頭與摩擦輥套(4)上的凹窩(41)相正對(duì)；

所述帶體(2)的兩側(cè)邊上成型有向外端面凸起的擋條(21)，擋條(21)成型有若干監(jiān)測(cè)凹槽(22)；所述帶體(2)一側(cè)的擋條(21)上方設(shè)有水平的動(dòng)支架(8)，動(dòng)支架(8)靠近帶體(2)的一側(cè)成型有與監(jiān)測(cè)凹槽(22)相對(duì)的槽口(81)，槽口(81)的上方設(shè)有第二計(jì)數(shù)傳感器(10)，第二計(jì)數(shù)傳感器(10)的探頭與監(jiān)測(cè)凹槽(22)相正對(duì)并固定在L型支架(9)上，L型支架(9)固定在動(dòng)支架(8)上；所述側(cè)支架板(1)的外側(cè)壁上固定有豎直的定位塊(7)，定位塊(7)上螺接有調(diào)節(jié)螺栓(30)，調(diào)節(jié)螺栓(30)鉸接在豎直的滑塊(20)上，滑塊(20)上插接固定有定位銷軸(50)，定位銷軸(50)插接在定位塊(7)上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種圓晶用輸送帶的帶速監(jiān)控裝置，其特征在于：所述的監(jiān)測(cè)凹槽(22)呈線型均勻分布在帶體(2)的擋條(21)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種圓晶用輸送帶的帶速監(jiān)控裝置，其特征在于：所述的動(dòng)支架(8)抵靠在側(cè)支架板(1)的上端面上，定位塊(7)的下端固定在定支架(5)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種圓晶用輸送帶的帶速監(jiān)控裝置，其特征在于：所述的調(diào)節(jié)螺栓(30)與定位銷軸(50)相平行。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種圓晶用輸送帶的帶速監(jiān)控裝置，其特征在于：所述調(diào)節(jié)螺栓(30)與滑塊(20)的鉸接方式為，調(diào)節(jié)螺栓(30)插接在滑塊(20)并螺接有限位螺母(40)，限位螺母(40)和調(diào)節(jié)螺栓(30)的頭部分別抵靠在滑塊(20)兩側(cè)的側(cè)壁上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種圓晶用輸送帶的帶速監(jiān)控裝置，其特征在于：所述L型支架(9)與第二計(jì)數(shù)傳感器(10)的固定方式為，L型支架(9)上成型有U型開口(91)，第二計(jì)數(shù)傳感器(10)插接在L型支架(9)的U型開口(91)內(nèi)并螺接有第一緊固螺母(60)，第一緊固螺母(60)壓靠在L型支架(9)上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種圓晶用輸送帶的帶速監(jiān)控裝置，其特征在于：所述定支架(5)與第一計(jì)數(shù)傳感器(6)的固定方式為，定支架(5)成型有與窗口(11)相對(duì)的腰型孔(51)，第一計(jì)數(shù)傳感器(6)插接在定支架(5)的腰型孔(51)內(nèi)并螺接有第二緊固螺母(70)，第二緊固螺母(70)壓靠在定支架(5)上。

說(shuō)明書： 一種圓晶用輸送帶的帶速監(jiān)控裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本發(fā)明涉及輸送帶的技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)涉及一種圓晶用輸送帶的帶速監(jiān)控裝置。

背景技術(shù)[0002] 目前半導(dǎo)體圓晶的輸送過(guò)程中需要使用到輸送帶，輸送帶由馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，并利用變速箱將馬達(dá)的轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)化為工藝需求的速度，進(jìn)而能控制安設(shè)與輸送帶上圓晶的輸送速度，

實(shí)現(xiàn)輸送帶為圓晶加工設(shè)備均勻供料。在上述輸送帶的輸送模式下，輸送帶的速度是通過(guò)

監(jiān)控馬達(dá)的轉(zhuǎn)速來(lái)監(jiān)控的，即默認(rèn)馬達(dá)轉(zhuǎn)速就是輸送帶速度。但這種監(jiān)控方法的缺點(diǎn)是：輸

送帶與驅(qū)動(dòng)軸長(zhǎng)期運(yùn)行后，會(huì)相互反發(fā)生磨損，引起輸送帶打滑，則輸送帶的速度就會(huì)發(fā)生

變化，圓晶均勻輸送的步調(diào)就會(huì)打亂，從而需要設(shè)計(jì)監(jiān)控輸送帶的速度裝置，避免輸送帶打

滑影響生產(chǎn)。

發(fā)明內(nèi)容[0003] 本發(fā)明的目的就是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)之不足，而提供了一種圓晶用輸送帶的帶速監(jiān)控裝置，其能監(jiān)測(cè)輸送帶的速度，同時(shí)可以監(jiān)測(cè)電機(jī)的轉(zhuǎn)速與輸送帶的速度同步情況，進(jìn)而判

斷輸送帶打滑情況，以及時(shí)進(jìn)行維修和更換，避免影響生產(chǎn)。

[0004] 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下：[0005] 一種圓晶用輸送帶的帶速監(jiān)控裝置，包括輸送帶的側(cè)支架板和輸送帶的帶體，帶體的兩端分別套設(shè)在驅(qū)動(dòng)輥和傳動(dòng)輥上，驅(qū)動(dòng)輥和伺服電機(jī)的轉(zhuǎn)軸相固接，傳動(dòng)輥的兩端

成型有鉸接軸，鉸接軸插接在側(cè)支架板上；傳動(dòng)輥上插套固定有摩擦輥套，帶體套設(shè)并抵靠

在摩擦輥套上，摩擦輥套的側(cè)端面上成型有凹窩，所述側(cè)支架板上成型有與凹窩相對(duì)的窗

口，側(cè)支架板上固定有與窗口相對(duì)的“匚”字形的定支架，定支架上固定有第一計(jì)數(shù)傳感器，

第一計(jì)數(shù)傳感器的探頭與摩擦輥套上的凹窩相正對(duì)；

[0006] 所述帶體的兩側(cè)邊上成型有向外端面凸起的擋條，擋條成型有若干監(jiān)測(cè)凹槽；所述帶體一側(cè)的擋條上方設(shè)有水平的動(dòng)支架，動(dòng)支架靠近帶體的一側(cè)成型有與監(jiān)測(cè)凹槽相對(duì)

的槽口，槽口的上方設(shè)有第二計(jì)數(shù)傳感器，第二計(jì)數(shù)傳感器的探頭與監(jiān)測(cè)凹槽相正對(duì)并固

定在L型支架上，L型支架固定在動(dòng)支架上；所述側(cè)支架板的外側(cè)壁上固定有豎直的定位塊，

定位塊上螺接有調(diào)節(jié)螺栓，調(diào)節(jié)螺栓鉸接在豎直的滑塊上，滑塊上插接固定有定位銷軸，定

位銷軸插接在定位塊上。

[0007] 優(yōu)選的，所述的監(jiān)測(cè)凹槽呈線型均勻分布在帶體的擋條上。[0008] 優(yōu)選的，所述的動(dòng)支架抵靠在側(cè)支架板的上端面上，定位塊的下端固定在定支架上。

[0009] 優(yōu)選的，所述的調(diào)節(jié)螺栓與定位銷軸相平行。[0010] 優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)螺栓與滑塊的鉸接方式為，調(diào)節(jié)螺栓插接在滑塊并螺接有限位螺母，限位螺母和調(diào)節(jié)螺栓的頭部分別抵靠在滑塊兩側(cè)的側(cè)壁上。

[0011] 優(yōu)選的，所述L型支架與第二計(jì)數(shù)傳感器的固定方式為，L型支架上成型有U型開口，第二計(jì)數(shù)傳感器插接在L型支架的U型開口內(nèi)并螺接有第一緊固螺母，第一緊固螺母壓

靠在L型支架上。

[0012] 優(yōu)選的，所述定支架與第一計(jì)數(shù)傳感器的固定方式為，定支架成型有與窗口相對(duì)的腰型孔，第一計(jì)數(shù)傳感器插接在定支架的腰型孔內(nèi)并螺接有第二緊固螺母，第二緊固螺

母壓靠在定支架上。

[0013] 本發(fā)明的有益效果在于：其能監(jiān)測(cè)輸送帶的速度，同時(shí)可以監(jiān)測(cè)電機(jī)的轉(zhuǎn)速與輸送帶的速度同步情況，進(jìn)而判斷輸送帶打滑情況，以及時(shí)進(jìn)行維修和更換，避免影響生產(chǎn)。

附圖說(shuō)明[0014] 圖1為本發(fā)明立體的結(jié)構(gòu)示意圖；[0015] 圖2為本發(fā)明另一角度的立體結(jié)構(gòu)示意圖；[0016] 圖3為本發(fā)明正視的結(jié)構(gòu)示意圖；[0017] 圖4為本發(fā)明側(cè)視的結(jié)構(gòu)示意圖；[0018] 圖5為圖4中A?A處的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。[0019] 圖中：1、側(cè)支架板；11、窗口；2、帶體；3、傳動(dòng)輥；31、鉸接軸；4、摩擦輥套；41、凹窩；5、定支架；6、第一計(jì)數(shù)傳感器；7、定位塊；8、動(dòng)支架；81、槽口；9、L型支架；91、U型開口；10、

第二計(jì)數(shù)傳感器；20、滑塊；30、調(diào)節(jié)螺栓；40、限位螺母；50、定位銷軸；60、第一緊固螺母；

70、第二緊固螺母。

具體實(shí)施方式[0020] 實(shí)施例：見(jiàn)圖1至5所示，一種圓晶用輸送帶的帶速監(jiān)控裝置，包括輸送帶的側(cè)支架板1和輸送帶的帶體2，帶體2的兩端分別套設(shè)在驅(qū)動(dòng)輥和傳動(dòng)輥3上，驅(qū)動(dòng)輥和伺服電機(jī)的

轉(zhuǎn)軸相固接，傳動(dòng)輥3的兩端成型有鉸接軸31，鉸接軸31插接在側(cè)支架板1上；傳動(dòng)輥3上插

套固定有摩擦輥套4，帶體2套設(shè)并抵靠在摩擦輥套4上，摩擦輥套4的側(cè)端面上成型有凹窩

41，所述側(cè)支架板1上成型有與凹窩41相對(duì)的窗口11，側(cè)支架板1上固定有與窗口11相對(duì)的

“匚”字形的定支架5，定支架5上固定有第一計(jì)數(shù)傳感器6，第一計(jì)數(shù)傳感器6的探頭與摩擦

輥套4上的凹窩41相正對(duì)；

[0021] 所述帶體2的兩側(cè)邊上成型有向外端面凸起的擋條21，擋條21成型有若干監(jiān)測(cè)凹槽22；所述帶體2一側(cè)的擋條21上方設(shè)有水平的動(dòng)支架8，動(dòng)支架8靠近帶體2的一側(cè)成型有

與監(jiān)測(cè)凹槽22相對(duì)的槽口81，槽口81的上方設(shè)有第二計(jì)數(shù)傳感器10，第二計(jì)數(shù)傳感器10的

探頭與監(jiān)測(cè)凹槽22相正對(duì)并固定在L型支架9上，L型支架9固定在動(dòng)支架8上；所述側(cè)支架板

1的外側(cè)壁上固定有豎直的定位塊7，定位塊7上螺接有調(diào)節(jié)螺栓30，調(diào)節(jié)螺栓30鉸接在豎直

的滑塊20上，滑塊20上插接固定有定位銷軸50，定位銷軸50插接在定位塊7上。

[0022] 所述的監(jiān)測(cè)凹槽22呈線型均勻分布在帶體2的擋條21上。[0023] 所述的動(dòng)支架8抵靠在側(cè)支架板1的上端面上，定位塊7的下端固定在定支架5上。[0024] 所述的調(diào)節(jié)螺栓30與定位銷軸50相平行。[0025] 所述調(diào)節(jié)螺栓30與滑塊20的鉸接方式為，調(diào)節(jié)螺栓30插接在滑塊20并螺接有限位螺母40，限位螺母40和調(diào)節(jié)螺栓30的頭部分別抵靠在滑塊20兩側(cè)的側(cè)壁上。

[0026] 所述L型支架9與第二計(jì)數(shù)傳感器10的固定方式為，L型支架9上成型有U型開口91，第二計(jì)數(shù)傳感器10插接在L型支架9的U型開口91內(nèi)并螺接有第一緊固螺母60，第一緊固螺

母60壓靠在L型支架9上。

[0027] 所述定支架5與第一計(jì)數(shù)傳感器6的固定方式為，定支架5成型有與窗口11相對(duì)的腰型孔51，第一計(jì)數(shù)傳感器6插接在定支架5的腰型孔51內(nèi)并螺接有第二緊固螺母70，第二

緊固螺母70壓靠在定支架5上。

[0028] 工作原理：本發(fā)明為圓晶用輸送帶的帶速監(jiān)控裝置，其在輸送帶的帶體2兩側(cè)設(shè)有擋條21，擋條21可以保護(hù)圓晶，避免圓晶輸送過(guò)程與側(cè)支架板之間的摩擦；

[0029] 同時(shí)擋條21開設(shè)有監(jiān)測(cè)帶速的監(jiān)測(cè)凹槽22，利用第一計(jì)數(shù)傳感器6可以得知輸送帶的帶速，同時(shí)再輸送帶連接過(guò)程中增設(shè)摩擦輥套4，增強(qiáng)輸送帶帶體2與傳動(dòng)輥3之間連接

的摩擦力，減少帶體2打滑的情況，并在摩擦輥套4開設(shè)可以用于計(jì)數(shù)的凹窩41，則通過(guò)第二

計(jì)數(shù)傳感器10和第一計(jì)數(shù)傳感器6判斷傳動(dòng)輥3的轉(zhuǎn)速與輸送帶的帶速是否同步，如額定設(shè)

置中第二計(jì)數(shù)傳感器10計(jì)數(shù)一次，第一計(jì)數(shù)傳感器6需要計(jì)數(shù)20次，當(dāng)兩個(gè)計(jì)數(shù)傳感器之間

出現(xiàn)差錯(cuò)，說(shuō)明輸送帶出現(xiàn)問(wèn)題。

[0030] 所述實(shí)施例用以例示性說(shuō)明本發(fā)明，而非用于限制本發(fā)明。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員均可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下，對(duì)所述實(shí)施例進(jìn)行修改，因此本發(fā)明的權(quán)利保護(hù)范

圍，應(yīng)如本發(fā)明的權(quán)利要求所列。