本發(fā)明涉及一種銀濺射靶材組件的生產(chǎn)工藝,包括澆鑄、擠壓、拋光、沖壓、安裝背板等步驟,使用純銀作為原料,通過真空感應(yīng)熔煉獲得鑄錠,然后通過冷熱軋制與熱處理配合獲得具有均勻晶粒度及穩(wěn)定磁透率的濺射靶材,以錸板或銅板作為背板,將背板與銀濺射靶材固定組合在一起,形成銀濺射靶材組件。本發(fā)明提供了一種生產(chǎn)高品質(zhì)銀濺射靶材的工藝方法,確保濺射靶材內(nèi)部無氣孔,純凈、密實,避免濺射時產(chǎn)生不正常放電而產(chǎn)生雜質(zhì)粒子,去除錠塊可能存在的氣孔、降低氮氧含量,使靶材更加緊實。
聲明:
“銀濺射靶材組件的生產(chǎn)工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)